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龍圖騰網(wǎng)恭喜羅伯特·博世有限公司申請的專利MEMS傳感器以及用于制造MEMS傳感器的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113365937B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080011763.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81B3/00；該發(fā)明授權(quán)MEMS傳感器以及用于制造MEMS傳感器的方法是由C·納格爾設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-01-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本MEMS傳感器以及用于制造MEMS傳感器的方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種MEMS傳感器，該MEMS傳感器包括襯底、至少三個功能層，所述功能層上下相疊地并且彼此間隔開地與襯底連接，并且其中，至少三個功能層中的第一功能層以能夠偏移的方式布置，其中，在第一功能層處布置有第一電極，該第一電極具有至少兩個區(qū)域，其中，第一電極的第一區(qū)域與至少三個功能層中的第二功能層的第二電極形成第一電容，并且其中，第一電極的第二區(qū)域與第三功能層的第三電極的至少一個區(qū)域形成第二電容，并且其中，這樣布置電極，使得在第一電容的電極的間距改變時，以相反的方式改變第二電容的電極的間距。

本發(fā)明授權(quán)MEMS傳感器以及用于制造MEMS傳感器的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.MEMS傳感器，所述MEMS傳感器包括：襯底，三個功能層5、7、9，所述功能層上下相疊地并且彼此間隔開地與所述襯底連接，其中，所述三個功能層5、7、9中的第一功能層9以能夠偏移的方式布置，其中，在所述第一功能層9處布置有第一電極10，所述第一電極具有至少兩個區(qū)域10a、10b、10c，其中，所述第一電極10的第一區(qū)域10a與所述三個功能層5、7、9中的第二功能層5的第二電極11形成第一電容，其中，所述第一電極10的第二區(qū)域10b、10c與第三功能層7的第三電極12的至少一個區(qū)域12a、12b形成第二電容，其中，所述電極10、11、12布置成，使得在所述第一電容的電極10、11的間距改變時，以相反的方式改變所述第二電容的電極10、12的間距，其中，所述襯底2在所述第一電極10的所述第二區(qū)域10b、10c的下方的區(qū)域中被摻雜有摻雜部2a或者具有金屬層2b，從而抵抗所述第一電極10的第二區(qū)域10b、10c與所述襯底之間的寄生電容的產(chǎn)生，其中，所述第一功能層9位于所述第三功能層7的上方并且所述第二功能層5位于所述第三功能層7的下方。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人羅伯特·博世有限公司，其通訊地址為：德國斯圖加特；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。