恭喜朗姆研究公司王德琪獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利用于遠程等離子體處理的室調節獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113594017B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110637340.5，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權用于遠程等離子體處理的室調節是由王德琪;劉剛;阿南德·查德拉什卡;楊宗翰;約翰·W·格里斯沃爾德設計研發完成，并于2017-12-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于遠程等離子體處理的室調節在說明書摘要公布了：本發明涉及用于遠程等離子體處理的室調節。本文描述的方法、系統和裝置涉及用于遠程等離子體處理的室調節，特別地涉及遠程的基于氮的等離子體處理。本公開的某些實現方式涉及用于特征填充的包括室調節的遠程等離子體抑制處理。本公開的實施方式涉及在襯底諸如半導體晶片的基于氮的遠程等離子體處理之前將遠程等離子體處理室暴露于氟物質。晶片內均勻性和晶片間均勻性得到改善。
本發明授權用于遠程等離子體處理的室調節在權利要求書中公布了：1.一種等離子體處理方法，其包括：在遠程等離子體處理室上執行調節處理，所述調節處理包括：將含氟氣體引入等離子體發生器以產生含氟調節等離子體并將所述含氟調節等離子體引入遠程處理室；使所述含氟調節等離子體中的氟物質與所述遠程等離子體處理室的表面反應以在所述遠程等離子體處理室的所述表面形成含氟鈍化層；以及將無氟含氮化合物引入所述等離子體發生器以產生無氟含氮調節等離子體并將所述無氟含氮調節等離子體引入所述遠程處理室，其中在所述調節處理期間，在所述遠程等離子體處理室中不存在制造襯底。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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