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龍圖騰網(wǎng)恭喜慧石(上海)測控科技有限公司申請的專利壓力傳感器及其制造方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN112924058B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202110093640.1，技術領域涉及：G01L1/18；該發(fā)明授權壓力傳感器及其制造方法是由趙懌;周志健;熊娟;余倫宙設計研發(fā)完成，并于2021-01-22向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本壓力傳感器及其制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種壓力傳感器及其制造方法，壓力傳感器包括襯底結構、頂層結構以及敏感膜層結構，頂層結構包括第一硅層、設于第一硅層背面的第一絕緣層、設于第一絕緣層背面的壓阻層以及設于第一硅層正面的頂層第一下絕緣層；頂層結構上形成有貫穿頂層第一下絕緣層、第一硅層及第一絕緣層的淀積孔及梁孔，淀積孔的孔壁上形成有孔壁絕緣層；襯底結構的上表面向下凹陷形成鍵合槽，頂層結構倒置與襯底結構上，頂層第一下絕緣層的正面朝向襯底結構，淀積孔與鍵合槽連通；敏感膜層結構形成于孔壁絕緣層的內(nèi)壁且向下延伸并包覆鍵合槽的內(nèi)壁與頂層結構的下表面。該壓力傳感器形成梁?膜應力集中結構，達到測量微小壓力的目的。

本發(fā)明授權壓力傳感器及其制造方法在權利要求書中公布了：1.一種壓力傳感器，其特征在于：包括襯底結構、頂層結構以及敏感膜層結構，所述頂層結構包括第一硅層、設于所述第一硅層背面的第一絕緣層、設于所述第一絕緣層背面的壓阻層以及設于所述第一硅層正面的頂層第一下絕緣層；所述頂層結構上形成有貫穿所述頂層第一下絕緣層、所述第一硅層及所述第一絕緣層的淀積孔及梁孔，所述淀積孔的孔壁上形成有孔壁絕緣層；所述襯底結構的上表面向下凹陷形成鍵合槽，所述頂層結構倒置于所述襯底結構上，所述頂層第一下絕緣層的正面朝向所述襯底結構，所述淀積孔與所述鍵合槽連通；所述敏感膜層結構形成于所述孔壁絕緣層的內(nèi)壁且向下延伸并包覆所述鍵合槽的內(nèi)壁與所述頂層結構的下表面。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢嗳?a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" >慧石(上海)測控科技有限公司，其通訊地址為：200000 上海市青浦區(qū)華紡路99號99弄6幢3樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。