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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利具有附加旋轉軸的旋轉分度器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111566796B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980007800.7，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權具有附加旋轉軸的旋轉分度器是由理查德·M·布蘭克;卡爾·F·利澤設計研發完成，并于2019-01-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本具有附加旋轉軸的旋轉分度器在說明書摘要公布了：提供旋轉分度器，所述旋轉分度器可以旋轉以在以圓形陣列布置的各種站之間移動半導體晶片或其他物品；在這種移動過程中，被移動的物品可以由所述分度器的臂支撐。所述旋轉分度器可被進一步配置為還使被移動的所述物品圍繞其他旋轉軸旋轉，以引起所述物品相對于支撐它們的所述臂的旋轉。

本發明授權具有附加旋轉軸的旋轉分度器在權利要求書中公布了：1.一種用于在多站半導體處理室中在站之間轉移晶片的裝置，所述裝置包括：旋轉分度器，其用于在將所述晶片放置在所述旋轉分度器上并致動所述旋轉分度器時，使多個晶片沿著圓形路徑在等距間隔的位置之間同時移動，所述旋轉分度器包含：基座；第一馬達；第二馬達；第一轂；N個分度器臂組件，每個分度器臂組件包含：a晶片支撐件，以及b分度器臂，所述分度器臂具有與所述第一轂固定連接的近端部和與所述晶片支撐件可旋轉地連接的遠端部；以及致動機構，其中：所述第一馬達被配置為使所述第一轂圍繞所述第一轂的中心軸并且相對于所述基座旋轉，所述第二馬達被配置為向所述致動機構提供旋轉輸入，N是大于或等于2的整數，每個晶片支撐件被配置為相對于相應的分度器臂組件的所述分度器臂并圍繞所述晶片支撐件的旋轉軸旋轉，每個晶片支撐件的所述旋轉軸被定位成當所述晶片支撐件支撐所述晶片時穿過所述晶片中的相應一個晶片的中心，以及所述致動機構被配置為響應于以下項而使所述分度器臂的所述晶片支撐件相對于所述分度器臂在相同的旋轉方向上，以及圍繞所述晶片支撐件的相應旋轉軸同時旋轉相同的量：所述第一馬達的旋轉，而所述第二馬達不旋轉；所述第二馬達的旋轉，而所述第一馬達不旋轉；或者所述第一馬達和所述第二馬達的旋轉，使得所述致動機構被致動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。