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龍圖騰網恭喜中國科學院微電子研究所申請的專利一種MEMS諧振式電場傳感器靈敏度漂移補償方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115201585B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110390536.9，技術領域涉及：G01R29/12；該發明授權一種MEMS諧振式電場傳感器靈敏度漂移補償方法是由儲昭志;夏洋;劉濤設計研發完成，并于2021-04-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種MEMS諧振式電場傳感器靈敏度漂移補償方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種MEMS諧振式電場傳感器靈敏度漂移補償方法，通過改變外部電場，測定在第一工作頻率下所述MEMS諧振式電場傳感器的輸出信息；根據所述外部電場值、所述第一輸出信息，計算獲得靈敏度系數；設定外部電場為零時，測定不同工作條件下所述MEMS諧振式電場傳感器的輸出信息，獲得第二輸出信息；根據所述靈敏度系數、所述第二輸出信息，計算獲得交流串擾噪聲電壓、內部靜電場強度；利用所述靈敏度系數、交流串擾噪聲電壓、內部靜電場強度進行同步修正補償，獲得外部電場強度，解決了現有技術中存在MEMS諧振式電場傳感器受到其他因素影響導致靈敏度發生漂移的技術問題。

本發明授權一種MEMS諧振式電場傳感器靈敏度漂移補償方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS諧振式電場傳感器靈敏度漂移補償方法，應用于一MEMS諧振式電場傳感器，所述MEMS諧振式電場傳感器的輸出信息包括可動結構振動幅值、感應端輸出電壓，其中，所述方法包括：通過改變外部電場，測定在第一工作頻率下所述MEMS諧振式電場傳感器的輸出信息，獲得第一輸出信息，其中，所述第一輸出信息至少包括第一可動結構振動幅值、第一感應端輸出電壓、第二感應端輸出電壓，其中，所述第一感應端輸出電壓、第二感應端輸出電壓與外部電場值相對應；根據所述外部電場值、所述第一輸出信息，計算獲得靈敏度系數；設定外部電場為零時，測定不同工作條件下所述MEMS諧振式電場傳感器的輸出信息，獲得第二輸出信息；根據所述靈敏度系數、所述第二輸出信息，計算獲得交流串擾噪聲電壓、內部靜電場強度；利用所述靈敏度系數、交流串擾噪聲電壓、內部靜電場強度進行同步修正補償，獲得外部電場強度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院微電子研究所，其通訊地址為：100029 北京市朝陽區北土城西路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。