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微觀裝置的制造及其處理技術
  • 本公開涉及一種制造半導體裝置的方法和對應的裝置。半導體芯片被非LDS封裝材料(即不包括LDS?可激活添加劑的封裝材料)覆蓋。朝向半導體芯片穿過非LDS封裝材料打開一個或多個第一通路。在非LDS封裝材料上模制LDS封裝材料(即包括LDS?可激...
  • 本申請提供了MEMS器件封裝方法；通過制作玻璃封蓋晶圓、鍵合環晶圓和臨時載板；鍵合玻璃封蓋晶圓和鍵合環晶圓形成蓋帽晶圓；鍵合蓋帽晶圓和臨時載板形成臨時蓋帽晶圓；沿著第二切片槽對玻璃封蓋晶圓和鍵合環晶圓切片；在鍵合環晶圓表面制作金屬中間層；通...
  • 本申請提供一種MEMS壓電器件及其制備方法，涉及半導體技術領域，包括：在襯底上至少依次層疊基底層、壓電層和表面層；刻蝕所述表面層使所述壓電層暴露，至少在所述壓電層的敏感區域保留所述表面層。通過在壓電層表面的敏感區域保留表面層，以對敏感區域壓...
  • 本發明公開了一種多層硅電互聯結構及制備方法，該結構包括從上到下依次設置的頂部硅布線層、絕緣層、底部硅布線層，所述底部硅布線層上有底部硅布線結構，所述頂部硅布線層上有頂部硅布線結構，所述頂部硅布線層上開有頂部深孔，所述頂部深孔貫穿所述絕緣層，...
  • 本申請公開一種半導體結構及其形成方法，其中形成方法包括：提供基底，基底表面形成有導電區；在導電區上形成第一介質層，第一介質層至少暴露出導電區的部分表面；在第一介質層的表面形成第一導電層，且第一導電層保形覆蓋所述第一介質層，還覆蓋暴露的導電區...
  • 本發明公開了一種微機電系統器件的制造方法及微機電系統器件，制造方法包括：在晶圓的正面上的非刻蝕區域形成圖形化的金屬氧化物掩膜層；對晶圓正面上的待刻蝕區域進行干法刻蝕，在晶圓的正面形成具有孔道結構的微機電系統器件；通過濕法刻蝕去除金屬氧化物掩...
  • 本發明公開了一種像素級MEMS結構及使用方法，屬于顯示器技術領域。一種像素級MEMS結構，包括基板和光源，所述基板位于光源的下方；像素結構，像素結構位于光源的上方；所述像素結構包括：反射膜一，所述反射膜一位于光源的上方，所述反射膜一的上方設...
  • 本發明涉及一種嵌入式六軸慣性感測系統級封裝結構及其裝配方法。該封裝結構包括異形多腔體多層布線陶瓷塊；異形多腔體多層布線陶瓷塊，用于實現MEMS傳感器單元和數據處理電路的集成安裝。異形多腔體多層布線陶瓷塊包括陶瓷塊；陶瓷塊上嵌入安裝有多個ME...
  • 本發明公開了一種空腔內壁布滿熱氧化層的Cavity?SOI制備方法，本發明涉及Cavity?SOI制作技術領域，方法包括獲取空腔晶圓，對空腔晶圓進行一次熱氧化工藝，形成一次熱氧化層，采用濕法工藝刻蝕去除一次熱氧化層，對空腔晶圓進行二次熱氧化...
  • 本發明涉及保鮮盒技術領域，具體公開了一種智能型保鮮盒，包括保溫外盒，所述保溫外盒的內部設置有儲物內盒，所述儲物內盒的底部設置有保鮮部件，所述保鮮部件包括集液斗，所述集液斗的內底面固定連接有儲冰框，所述儲冰框內填充有冰塊，所述儲物內盒的底部開...
  • 本申請涉及一種絞合線纏線設備及絞合線纏線工藝，涉及絞合線纏線的技術領域，其包括設備主體、控制面板、支撐塊、限位機構、纏繞機構和移動機構。本申請具有快速纏繞絞合線，提高纏線效率的效果，通過設置于設備主體前左端的限位機構，可對待纏線物料進行定位...
  • 本發明公開了一種太赫茲波段高電容比的金屬并聯式RF MEMS開關，屬于射頻前端器件領域。整體結構由支流端口金屬塊，直流偏置線，微帶線匹配結構，金屬梁MEMS開關，金屬梁的金屬電極，氮化硅絕緣層，硅基襯底，共面波導金屬地和金屬地組成。金屬梁的...
  • 本申請公開了一種靜電驅動MEMS微鏡及制備方法，該靜電驅動MEMS微鏡包括：上驅動硅片、微鏡硅片和下驅動硅片；微鏡硅片包括：轉軸和轉動鏡體，轉軸和轉動鏡體垂直于上驅動硅片和下驅動硅片；轉軸貫穿轉動鏡體，且二者之間設有旋轉空隙；上驅動硅片和下...
  • 本實用新型公開了一種內置隔斷可調節保溫保冷容器。本實用新型，包括保溫保冷容器，所述保溫保冷容器內部底端的中間位置設置有中心隔斷，所述中心隔斷的兩端轉動安裝有活動隔斷，所述中心隔斷和活動隔斷一端的頂部和底部均開設有滑槽，所述中心隔斷和活動隔斷...
  • 本實用新型屬于藥物原料儲存的技術領域，具體為原料恒溫儲放裝置，所述的放置架設置在恒溫箱內，所述的放置架由第一動力裝置驅動；所述的放置架轉動連接有原料架，所述的原料架由第二動力裝置驅動；所述的原料架上開設有出料管道，所述的原料架滑動連接有與出...
  • 本實用新型公開了一種用于農產品存放的保鮮裝置，屬于農產品技術領域,包括有保鮮箱體和保鮮箱門，保鮮箱體的內部設置有隔板，保鮮箱體在靠近內壁和隔板一側的位置上均對稱設置有兩個支撐桿，同側的支撐桿之間設置有若干移動側板，移動側板在相面對的一側中間...
  • 本公開涉及一種鎖總成機構、車門以及車輛，鎖總成機構包括，鎖座，用于沿預設方向運動以釋放車門；鎖定件，活動連接于鎖座，鎖定件具有解鎖位置；以及第一驅動構件，包括分別能夠帶動位于解鎖位置的鎖定件運動的電驅動件和手動驅動件，且通過鎖定件帶動鎖座運...
  • 本實用新型公開了一種高安全性的生態環境監測用樣品存放裝置，涉及樣本存放設備技術領域，包括支撐腿、調控底座、門把、密封門和限位栓，所述支撐腿上方設置有調控底座，所述調控底座上方設置有箱體，所述箱體右側安裝有密封門，且密封門左側設置有門把，所述...
  • 本發明涉及MEMS制造的技術領域，它涉及一種用于陽極鍵合工藝的動態電壓控制方法，將初始電壓值設為固定電壓值的50%?70%，實時監測鍵合界面電阻值、界面溫度場分布及局部應力變化；根據界面電阻下降速率與溫度梯度進行電壓層級響應：將模糊PID與...
  • 本發明公開了一種控制MEMS空腔結構硅厚的方法，包括以下步驟：S1，在硅襯底上沉積介質層，使用光刻和刻蝕形成圖形化的掩模；S2，基于掩模開口位置，通過濕法腐蝕的方式，根據所要腐蝕硅襯底的厚度即目標硅厚，計算出預計腐蝕時間；S3，加以過量的腐...
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