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攝影電影;光學設備的制造及其處理,應用技術
  • 本發明提供透鏡單元以及相機模塊，其抑制光學性能的降低，并且適當地加熱透鏡。透鏡單元(1)具備：拍攝光學系統(2)，從物側起依次包括第一透鏡(21)和第二透鏡(22)；間隔件(4)，被夾持在第一透鏡(21)的像側平面(21b)與第二透鏡(22...
  • 本公開內容涉及光敏樹脂組合物，并且提供了可溶于環境友好的水性溶劑、可用水性顯影溶液顯影并且能夠提供具有優異的耐化學性、低介電常數特性、低介電損耗特性和機械特性的絕緣膜的光敏樹脂組合物。
  • 本發明公開了一種使用漸進式曝光機的新型掩膜制作方法及系統，方法包括提供一種使用漸進式曝光機的新型掩膜制作系統，包括漸進式曝光機、主感光性間隔件及干涉感光性間隔件；漸進式曝光機通過主感光性間隔件向待曝光掩膜版的第一位置進行全曝光，獲取第一光刻...
  • 本申請提供一種表面等離子體光刻成像結構、方法及計算機可讀介質，包括：反射層、光刻膠、第一諧振腔結構和掩模層；反射層設置在待刻蝕結構一側，光刻膠設置在反射層遠離待刻蝕結構的一側，第一諧振腔結構設置在光刻膠遠離待刻蝕結構的一側；掩模層設置在第一...
  • 本發明公開了一種基于低電壓冰膠電子束曝光的三維灰度結構及三維微納結構的制造方法，包括：在加工面上沉積一層冰層；然后利用低能量電子束分層曝光，去除每層特定部分的冰層，最終形成帶有特定灰度圖案的三維灰度冰雕結構；可選擇的在三維冰雕結構采用物理氣...
  • 本申請提供一種光刻機臺間套刻精度差異的預補償方法，包括：步驟一，根據當前批次晶圓的當前層和前一層的材料屬性和功能屬性，獲取相對該前一層轉機對該當前層實施光刻的套刻精度歷史數據；步驟二，在所述歷史數據中扣除相對該前一層用同一光刻機對該當前層實...
  • 本發明屬于太陽能熱發電技術領域，涉及一種大功率等級槽塔耦合太陽能熱發電系統，熱能儲存裝置包括低溫熔鹽儲罐、中溫熔鹽儲罐和高溫熔鹽儲罐；槽式集熱器的集熱管進口和出口分別與低溫熔鹽儲罐的出口和中溫熔鹽儲罐的進口連接；塔式集熱器的集熱塔進口和出口...
  • 本實用新型屬于晶圓制造技術領域，具體提供了一種轉盤式光刻機的CCD調整機構系統，包括底板，底板上設置有兩組X方向固定導軌，X方向固定導軌上設置有兩個對稱的CCD調整機構，每個CCD調整機構能夠實現一個CCD組件的X、Y方向調整，每個CCD調...
  • 本實用新型公開了一種投影儀幕布調節裝置，包括投影布盒體，投影布盒體的內部設置有投影布布體，投影布盒體設置有用于適應投影布布體所處位置的調節機構，調節機構包括調節框，調節框的內部滑動設置有調節板，調節板位于投影布盒體上，調節板用于調整投影布盒...
  • 本發明的實施方式提供了一種相機致動器，其包括：殼體；第一透鏡組件，該第一透鏡組件相對于殼體沿光軸方向移動；滾珠部分，該滾珠部分設置在第一透鏡組件中；以及驅動部分，該驅動部分使第一透鏡組件移動，其中：第一透鏡組件包括容納部分和導引部分，容納部...
  • 本發明涉及抗蝕劑下層膜形成用組成物、抗蝕劑下層膜、抗蝕劑下層膜的制造方法、圖案形成方法、及半導體裝置的制造方法。本發明的課題為提供一種可形成會表現優異的加工耐性及優異的氣體穿透性的抗蝕劑下層膜的抗蝕劑下層膜形成用組成物。本發明的解決手段為一...
  • 本發明屬于軌道交通技術領域，提供了一種地鐵站臺門系統的控制及通訊裝置，包括：四個控制器以及分別與各個控制器通訊連接的交換機以形成環形網絡；裝置被配置有控制命令及通訊命令，控制命令表示為通過控制器執行信號系統的指令而向站臺門控裝置發送開閉門指...
  • 本發明涉及一種翼身融合布局飛機地面運動綜合系統及控制方法，包括飛行綜合控制系統、地面運動綜合控制面板、指令采集和備份單元、綜合控制計算機單元、作動器伺服控制單元、發動機控制器、1553B總線和429總線；飛行綜合控制系統與指令采集和備份單元...
  • 本發明公開了一種應用于FIB光刻技術中的實時檢測設備，包括用于離子束光刻的N把離子槍和用于離子束光刻之后的檢測以保證光刻質量的N把電子槍一，N≥1，其特征在于，離子槍與電子槍一分別控制，同步工作。本發明具有如下有益效果：電子與離子槍相隔一定...
  • 本發明公開了柔性解耦結構、補償組件及控制方法、運動模塊及光刻機，屬于光刻設備領域。該柔性解耦結構包括；至少兩個分段式彈性件，其剛度能夠調整，其包括依次連接的第一簧片、連接板和第二簧片，分段式彈性件被配置為能對運動組件進行解耦或行程補償；平行...
  • 本發明公開了一種光刻設備，包括激光輸出裝置、光路選擇裝置、檢測模塊和光刻模塊，所述激光輸出裝置發射激光至所述光路選擇裝置，所述光路選擇裝置選擇將激光反射至所述光刻模塊或所述檢測模塊。本發明還公開了一種光刻方法，利用上述光刻設備進行光刻。通過...
  • 一種投影屏幕(1)、制作方法及投影系統，投影屏幕(1)包括擴散層(11)、菲涅爾結構層(12)和位于菲涅爾結構層(12)的菲涅爾結構(121)的至少部分表面上的波長選擇反射層(F)，波長選擇反射層(F)可以對投影設備(2)出射的投影光線選擇...
  • 本實用新型公開了一種折疊柔光箱，包括傘盤座，第一支撐座，第二支撐座和鎖止結構；傘盤座具有擴口槽及活動槽，活動槽在傘盤座的內圈具有阻擋面；至少一個第二支撐座可轉動地連接于活動槽，并具有落入活動槽內的展開狀態和翻轉至傘盤座下方的折疊狀態，第二支...
  • 本發明涉及一種用于ArF浸沒式光刻膠頂層涂層的組合物，所述的組合物包括聚合物I、聚合物II、光致產酸劑和電子級溶劑，所述的聚合物I和聚合物II結構式如下：
  • 本發明提供一種半色調掩膜板，所述半色調掩膜板包括金屬遮光圖形，所述金屬遮光圖形包括多個圖形部，所述金屬遮光圖形還包括靜電釋放導線，至少一對相鄰的圖形部之間連接有所述靜電釋放導線，對于至少一對被所述靜電釋放導線電連接的圖形部而言，至少其中一個...
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