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龍圖騰網(wǎng)恭喜三星電子株式會社申請的專利用于晶圓圖像生成的方法和系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN110763696B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201910154524.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/95；該發(fā)明授權(quán)用于晶圓圖像生成的方法和系統(tǒng)是由明圖·杜塔;薩米拉·巴拉德瓦加·哈牙瓦達拉;沙閃克·什里坎特·阿加斯;拉蒂什·巴拉干加達爾;安莫·瓦爾馬;申憲周設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-02-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于晶圓圖像生成的方法和系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本文的實施例提供了用于根據(jù)CAD文件生成晶圓的管芯張量的方法和系統(tǒng)。需要具有晶圓的圖像，其可以是完美參考圖像的忠實再現(xiàn)。之后，可以通過將完美參考圖像中的管芯與晶圓的實際圖像中的管芯進行比較來將完美參考圖像用于檢測晶圓中的缺陷。可以根據(jù)CAD文件生成完美參考圖像，CAD文件包括晶圓的電路設(shè)計。生成的晶圓的完美參考圖像可以稱為管芯張量。管芯張量可以包括預(yù)定義數(shù)量的切片，可以使用預(yù)定義數(shù)量的切片來改善對晶圓的管芯中的缺陷的檢測。

本發(fā)明授權(quán)用于晶圓圖像生成的方法和系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種根據(jù)計算機輔助設(shè)計CAD文件生成晶圓的管芯張量的方法，所述方法包括：由分割引擎將根據(jù)所述CAD文件獲得的線框圖像分割成多個實體；由圖像變換引擎基于光學(xué)信息來對所述多個實體中的每一個執(zhí)行變換；以及由拼接引擎通過對變換后的多個實體中的每一個進行組合，生成包括預(yù)定義數(shù)量的切片在內(nèi)的管芯張量，其中，所述切片包括參考圖像、所述參考圖像的灰度分布、所述晶圓中的管芯的位置、以及遍及所述晶圓的厚度變化，其中，所述圖像變換引擎還基于工藝信息來對所述多個實體中的每個實體執(zhí)行變換，所述工藝信息包括工藝事件數(shù)據(jù)、由至少一個工藝設(shè)備中的傳感器收集的數(shù)據(jù)、以及至少一個工藝的元數(shù)據(jù)，所述工藝事件數(shù)據(jù)包括工藝設(shè)備內(nèi)部的壓力的增加或減少，由所述傳感器收集的數(shù)據(jù)包括溫度、壓力、電流、電壓和阻抗，所述元數(shù)據(jù)包括與所述工藝設(shè)備和配方有關(guān)的信息，并且其中，由時間序列編碼器獲得所述工藝事件數(shù)據(jù)和由所述傳感器收集的數(shù)據(jù)，以對所述工藝信息執(zhí)行特征提取；并且所述工藝信息基于所述元數(shù)據(jù)進行分組。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人三星電子株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。