恭喜朗姆研究公司埃里克·佩普獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利具有一個或更多個加熱器層的襯底處理系統印刷電路控制板組件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111418052B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201880077337.9，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權具有一個或更多個加熱器層的襯底處理系統印刷電路控制板組件是由埃里克·佩普;經常友;佛瑞德·埃格利設計研發完成，并于2018-11-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有一個或更多個加熱器層的襯底處理系統印刷電路控制板組件在說明書摘要公布了：一種襯底處理系統包括：襯底處理室；布置在所述襯底處理室中的基座；以及布置在所述基座上的靜電卡盤ESC。ESC包含由多個印刷電路板層組成的印刷電路板組件PCBA，所述印刷電路板層用于安裝控制ESC的操作的電路。印刷電路板層中的一個或更多個包括加熱器層，該加熱器層具有一個或更多個金屬跡線，所述金屬跡線可以是用于覆蓋該加熱層的表面中的一部分或全部的銅，其足以向其余的一個或更多個印刷電路板層提供熱量，以將電路維持在預定溫度范圍內。熱量可以直接在各個其他印刷電路板層之間傳導，或者可以通過印刷電路板層中的各個印刷電路板層中的通孔傳導。
本發明授權具有一個或更多個加熱器層的襯底處理系統印刷電路控制板組件在權利要求書中公布了：1.一種印刷電路板組件，其在襯底處理系統中，所述襯底處理系統包括襯底處理室和在所述襯底處理室內部用于保持襯底的靜電卡盤靜電卡盤，所述印刷電路板組件包括多個印刷電路板層，其中所述多個印刷電路板層中的一個或更多個印刷電路板層被配置為安裝控制所述靜電卡盤的操作的電路，所述多個印刷電路板層包括第一印刷電路板層，所述第一印刷電路板層包括覆蓋所述第一印刷電路板層的第一區域的第一金屬跡線，所述第一金屬跡線用于向所述多個印刷電路板層中的一個或更多個其他印刷電路板層提供熱量，以將所述電路保持在預定溫度范圍內。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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