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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利通過鋅摻雜增強金屬襯里的鈍化和粘附獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112236845B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-22發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：201980038040.6，技術領域涉及：H01L21/285；該發(fā)明授權通過鋅摻雜增強金屬襯里的鈍化和粘附是由耶迪·N·道爾迪;安魯達哈·喬伊;史蒂文·詹姆斯·馬德森;德賴斯·狄克特斯設計研發(fā)完成，并于2019-05-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本通過鋅摻雜增強金屬襯里的鈍化和粘附在說明書摘要公布了：一種方法包括：在電介質層上沉積阻擋層，以防止由于所述電介質層中存在氧化物而導致待通過電鍍而沉積的金屬層氧化；以及在所述阻擋層上沉積摻雜的襯里層，以與待通過所述電鍍而沉積在所述襯里層上的所述金屬層結合。當在所述電鍍之前所述襯里層的表面暴露于空氣時，所述摻雜劑在所述表面上形成保護性鈍化層，并且在所述電鍍期間溶解，使得通過所述電鍍沉積在所述襯里層上的所述金屬層與所述襯里層結合。所述摻雜劑與所述電介質層反應并且在所述阻擋層與所述電介質層之間形成化合物層。所述化合物層防止由于所述電介質層中存在的所述氧化物而導致的所述阻擋層和所述襯里層的氧化，并且將所述阻擋層粘附到所述電介質層上。

本發(fā)明授權通過鋅摻雜增強金屬襯里的鈍化和粘附在權利要求書中公布了：1.一種用于增強金屬襯里的鈍化和粘附的方法，其包括：在電介質層上沉積阻擋層，以防止由于所述電介質層中存在氧化物而導致待通過電鍍而沉積的金屬層氧化；以及在所述阻擋層上沉積襯里層，以與待通過所述電鍍而沉積在所述襯里層上的所述金屬層結合，其中所述襯里層摻雜有摻雜劑，其中，當在所述電鍍之前，所述襯里層的表面暴露于空氣時，所述摻雜劑在所述表面上形成鈍化層，所述金屬層將在所述表面上沉積，其中，當在所述電鍍之前將所述襯里層暴露于空氣時，所述鈍化層進一步防止所述襯里層的氧化，其中，所述鈍化層在所述電鍍期間溶解，使得通過所述電鍍沉積在所述襯里層上的所述金屬層與所述襯里層結合，其中，所述摻雜劑與所述電介質層反應并且在所述阻擋層與所述電介質層之間形成化合物層，其中所述化合物層防止由于所述電介質層中存在的所述氧化物而導致的所述阻擋層和所述襯里層的氧化，以及其中，所述化合物層將所述阻擋層粘附到所述電介質層上。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網官方客服，聯(lián)系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。