恭喜珠海市世創金剛石工具制造有限公司劉帥獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜珠海市世創金剛石工具制造有限公司申請的專利一種半導體芯片打磨機構及打磨方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119658510B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510183353.8,技術領域涉及:B24B7/22;該發明授權一種半導體芯片打磨機構及打磨方法是由劉帥;張科;毛昌利;張倬;閆金霞設計研發完成,并于2025-02-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體芯片打磨機構及打磨方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種半導體芯片打磨機構及打磨方法,具體包括機殼、供料組件、移料組件以及打磨組件。通過第一打磨輪對半導體芯片的第一面進行打磨,第二打磨輪對半導體芯片的第二面進行打磨;無需對半導體芯片進行翻面處理,即可實現半導體芯片的雙面打磨。移料組件的真空吸附方式能有效適應不同芯片,提升了系統的適應性和操作靈活性。自動化的供料、移料和打磨過程,減少了人工參與的需求,降低了操作人員的勞動強度和技術門檻。同時,自動化設備的穩定性和精度也降低了操作失誤的風險,提高了生產過程的安全性和可靠性。因此,本發明解決了現有技術中打磨機構對半導體芯片的雙面打磨步驟較為繁瑣且打磨機構的機構較為復雜的技術問題。
本發明授權一種半導體芯片打磨機構及打磨方法在權利要求書中公布了:1.一種半導體芯片打磨機構,其特征在于,包括:呈框架結構設置的機殼(10),所述機殼(10)內安裝有供料組件(20)、移料組件(30)以及打磨組件(40),所述供料組件(20)用于提供若干個層疊放置的半導體芯片(50),所述移料組件(30)與所述打磨組件(40)相鄰設置;其中,所述打磨組件(40)包括與所述機殼(10)固定連接的打磨基座(41),所述打磨基座(41)上轉動連接有呈層狀分布的第一打磨輪(42)和第二打磨輪(43),所述打磨基座(41)上安裝有用于驅動所述第一打磨輪(42)和第二打磨輪(43)進行異向轉動的打磨電機(44);所述半導體芯片(50)相對設置有第一面(51)和第二面(52),所述移料組件(30)用于真空吸附所述供料組件(20)上的所述半導體芯片(50),并帶動所述半導體芯片(50)沿著靠近所述打磨組件(40)的方向進行移動,以使所述第一打磨輪(42)對所述半導體芯片(50)的第一面(51)進行打磨,所述第二打磨輪(43)對所述半導體芯片(50)的第二面(52)進行打磨;所述機殼(10)內還設有收集組件(60),所述收集組件(60)包括擋板(61)和限位件(67),所述擋板(61)與所述打磨基座(41)滑動連接;所述擋板(61)用于阻擋廢料的飛濺,所述限位件(67)用于對所述擋板(61)的移動行程進行限位;所述收集組件(60)包括沿豎直方向向下依次分布的擋板(61)、收集框(62)以及收集箱(63);其中,所述擋板(61)位于所述第一打磨輪(42)和所述第二打磨輪(43)的同一側,所述機殼(10)內設有安裝孔(12);所述收集框(62)穿過所述安裝孔(12),所述收集框(62)為兩端開口且內部空心的結構,所述收集箱(63)用于收集所述半導體芯片(50)被打磨掉出的廢料;所述打磨基座(41)上固定安裝有滑軌(64),所述滑軌(64)上滑動連接有滑動件(65),所述擋板(61)與所述滑動件(65)固定連接;其中,所述滑軌(64)上設有兩層呈梯形的滑槽(641),所述滑動件(65)上設有一體成型結構的兩個滑動部(651),所述滑動部(651)與所述滑槽(641)適配,所述滑動件(65)與所述擋板(61)固定連接;所述滑動件(65)螺紋連接有用于與所述滑槽(641)抵接的鎖緊螺絲(68);所述打磨基座(41)上設有安裝臺(66),所述安裝臺(66)上螺紋連接有限位件(67);其中,所述限位件(67)穿過所述擋板(61);所述擋板(61)包括依次連接的第一板(611)和第二板(612),所述第一板(611)呈傾斜狀態設置且與所述滑動件(65)固定連接,所述第二板(612)呈豎直狀態設置且其一端插入所述收集框(62)內;所述打磨電機(44)的輸出軸上安裝有與所述第二打磨輪(43)同軸設置的第一齒輪(45),所述第一齒輪(45)用于帶動所述第二打磨輪(43)進行旋轉運動,所述打磨基座(41)上轉動連接有與所述第一齒輪(45)嚙合的第二齒輪(46);其中,所述打磨基座(41)上安裝有第一同步輪(47)和第二同步輪(48),所述第一同步輪(47)與所述第二同步輪(48)通過皮帶(49)繞卷連接,所述第一同步輪(47)用于帶動所述第一打磨輪(42)進行旋轉運動;所述第一同步輪(47)與所述第一打磨輪(42)同軸設置,所述第二同步輪(48)與所述第二齒輪(46)同軸設置。
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