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龍圖騰網恭喜株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理方法以及基板處理裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113557594B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202080020030.2，技術領域涉及：H01L21/304；該發(fā)明授權基板處理方法以及基板處理裝置是由三浦淳靖;江戶徹設計研發(fā)完成，并于2020-02-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板處理方法以及基板處理裝置在說明書摘要公布了：基板處理方法包括：以朝向上下方向的中心軸為中心使基板旋轉的工序步驟S11；向旋轉中的基板的上表面以及下表面中的一個主面的中央部供給氣體，并且以第1流量向基板的另一個主面的中央部供給沖洗液并使該沖洗液向一個主面的周緣區(qū)域繞流，由此，在一個主面上形成氣體與沖洗液的氣液界面的工序步驟S13；以及在步驟S13之后，以流量比第1流量小的第2流量向旋轉中的基板的另一個主面的中央部供給藥液并使該藥液向一個主面的周緣區(qū)域繞流，由此，在一個主面上到氣液界面供給藥液來進行周緣區(qū)域的藥液處理的工序步驟S15。由此，能夠抑制藥液的液體飛濺地適當進行基板的周緣區(qū)域的藥液處理。

本發(fā)明授權基板處理方法以及基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，其特征在于，包括：a使被保持為水平狀態(tài)的基板以朝向上下方向的中心軸為中心進行旋轉的工序；b向旋轉中的所述基板的上表面以及下表面中的一個主面的中央部供給氣體，并且以第1流量向所述基板的另一個主面的中央部供給沖洗液并使該沖洗液向所述一個主面的周緣區(qū)域繞流，由此，在所述一個主面上形成所述氣體與所述沖洗液的氣液界面的工序；以及c與所述b連續(xù)地以流量比所述第1流量小的第2流量向旋轉中的所述基板的所述另一個主面的中央部供給藥液并使該藥液向所述一個主面的所述周緣區(qū)域繞流，由此，在所述一個主面上到所述氣液界面為止供給所述藥液來進行所述周緣區(qū)域的藥液處理的工序，所述藥液為使溶質溶解于所述沖洗液而得到的藥液。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府；或者聯(lián)系龍圖騰網官方客服，聯(lián)系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。