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龍圖騰網恭喜深圳市湃泊科技有限公司;東莞市湃泊科技有限公司申請的專利用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119351963B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411932265.5，技術領域涉及：C23C14/34；該發明授權用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置是由安屹;陳琦;秦太夢;陳維設計研發完成，并于2024-12-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置，包括夾片裝置；每個夾片裝置至少包括：載膜板、托片掩膜和鎖定桿；載膜板上具有若干載膜通槽，載膜通槽一側開口延伸至載膜板側壁；位于載膜通槽開口兩側的底緣設有載膜階以承托托片掩膜；托片掩膜設于載膜通槽內；托片掩膜的相對兩側邊具有與載膜階配合的外接沿；托片掩膜上設有覆膜孔，用于容納襯底，且覆膜孔的底部設有承托襯底的掩膜柵板；每兩個托片掩膜相互扣合以夾持并罩覆襯底；每兩個載膜板相互扣合以約束兩個托片掩膜保持扣合狀態；相互扣合的載膜板通過轉軸鉸接，轉軸位于載膜板遠離載膜通槽開口的一側，鎖定桿位于載膜板遠離轉軸的一側；以完成夾持襯底并完成種子層雙面濺射成型。

本發明授權用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置，其特征在于，包括：夾片裝置；每個所述夾片裝置至少包括：載膜板、托片掩膜和鎖定桿；所述載膜板上具有若干載膜通槽，所述載膜通槽一側開口延伸至所述載膜板側壁；位于所述載膜通槽開口兩側的底緣設有載膜階，用于承托所述托片掩膜；所述托片掩膜設于所述載膜通槽內；所述托片掩膜的相對兩側邊具有與所述載膜階配合的外接沿；所述托片掩膜上設有覆膜孔，用于容納襯底，且所述覆膜孔的底部設有用于承托所述襯底的掩膜柵板；所述夾片裝置中：每兩個所述托片掩膜相互扣合，用于夾持并罩覆所述襯底；每兩個所述載膜板相互扣合，用于約束兩個所述托片掩膜保持扣合狀態；其中，相互扣合的所述載膜板通過轉軸鉸接，所述轉軸位于所述載膜板遠離所述載膜通槽開口的一側，所述鎖定桿位于所述載膜板遠離所述轉軸的一側以使得相互扣合的所述載膜板保持扣合；所述鎖定桿側壁設有夾槽，所述夾槽用于夾持相互扣合的所述載膜板遠離所述轉軸的一側；其中，所述載膜板表面與所述夾槽配合處設有若干導向槽，所述導向槽延長方向與所述轉軸的軸線方向夾角為銳角；所述夾槽的相對兩側壁上設有與所述導向槽相配合的導向突起；還包括鍍膜艙；所述鍍膜艙內底板中心設有升降孔，所述升降孔中設有升降滑套；所述升降滑套頂部設有用于固定所述夾片裝置的固定框；所述鍍膜艙的艙體上嵌入設有觀察艙，所述觀察艙內設有用于監視所述鍍膜艙內濺射情況的監視相機；所述鍍膜艙下方設有與所述升降滑套連接的升降機構、轉向機構以分別驅動所述升降滑套沿自身中心軸線往復、旋轉運動。

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