恭喜西默有限公司E·A·梅森獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜西默有限公司申請的專利壓力控制式光譜特征調整器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113632327B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080024272.9，技術領域涉及：H01S3/00；該發明授權壓力控制式光譜特征調整器是由E·A·梅森;G·G·帕德馬班杜設計研發完成，并于2020-03-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本壓力控制式光譜特征調整器在說明書摘要公布了：一種裝置包括氣體放電系統，該氣體放電系統包括氣體放電腔室并且被配置為產生光束；以及光譜特征調整器，該光譜特征調整器與由氣體放電腔室生成的前體光束光學連通。光譜特征調整器包括主體，該主體限定內部，該內部保持處于低于大氣壓力的壓力；至少一個光學通路，該至少一個光學通路限定在氣體放電腔室與主體的內部之間，該光學通路對于前體光束是透明的；以及光學元件集合，該光學元件集合位于內部內，該光學元件被配置為與前體光束相互作用。
本發明授權壓力控制式光譜特征調整器在權利要求書中公布了：1.一種光譜特征調整器，包括：主體，限定內部，所述內部保持處于低于大氣壓力的壓力；至少一個光學通路，穿過所述主體，所述光學通路對于波長在紫外范圍內的光束是透明的；光學元件集合，位于所述內部內，所述集合中的所述光學元件被配置為與所述光束相互作用，其中所述光學元件集合包括一個或多個可致動光學元件；以及致動系統，位于所述內部內，所述致動系統與所述一個或多個可致動光學元件連通并且被配置為調整所述一個或多個可致動光學元件的物理方面，其中所述光譜特征調整器與控制裝置通信，所述控制裝置還與氣體放電系統通信，所述氣體放電系統包括氣體放電腔室并且被配置為產生所述光束，所述控制裝置被配置為：確定所述光譜特征調整器的所述主體的所述內部內的所述壓力是否在壓力的操作范圍內；以及如果確定所述光譜特征調整器的所述主體的所述內部內的所述壓力在壓力的所述操作范圍內，則從在待機模式下操作所述氣體放電系統切換到在輸出模式下操作所述氣體放電系統。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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