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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利基板處理裝置和基板處理方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111755358B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010202728.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置和基板處理方法是由森川勝洋;飽本正巳設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-03-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板處理裝置和基板處理方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：效率良好地執(zhí)行的基板的液處理的基板處理裝置和基板處理方法。基板處理裝置具備：具有基板的輸入輸出口并內(nèi)裝有第1液處理部和設(shè)置于比第1液處理部遠(yuǎn)離輸入輸出口的位置的第2液處理部的液處理模塊和相對(duì)于液處理模塊輸入輸出基板的輸送裝置。第1液處理部對(duì)由第1保持部保持的基板實(shí)施第1液處理，第2液處理部在第1液處理之前或之后對(duì)由第2保持部保持的基板實(shí)施第2液處理。輸送裝置具有可沿第1水平方向進(jìn)退的基板保持部，使由基板保持部保持的基板沿第1水平方向進(jìn)退，可將應(yīng)在第1液處理部和第2液處理部處理的基板經(jīng)由輸入輸出口向第1液處理部輸入、將在第1液處理部和第2液處理部處理后的基板經(jīng)由輸入輸出口從第1液處理部輸出。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置和基板處理方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基板處理裝置，其具備：液處理模塊，其具有基板的輸入輸出口，并內(nèi)裝有第1液處理部和設(shè)置于比所述第1液處理部遠(yuǎn)離所述輸入輸出口的位置的第2液處理部；以及輸送裝置，其相對(duì)于所述液處理模塊輸入輸出基板，所述第1液處理部構(gòu)成為，具有保持基板的第1保持部，并對(duì)由所述第1保持部保持著的基板實(shí)施第1液處理，所述第2液處理部構(gòu)成為，具有保持基板的第2保持部，并在所述第1液處理之前或之后對(duì)由所述第2保持部保持著的基板實(shí)施第2液處理，所述輸送裝置構(gòu)成為，具有能夠沿著第1水平方向進(jìn)退的基板保持部，通過(guò)使由所述基板保持部保持著的基板沿著第1水平方向進(jìn)退，能夠?qū)?yīng)該在所述第1液處理部和所述第2液處理部處理的基板經(jīng)由所述輸入輸出口向所述第1液處理部輸入以及能夠?qū)⒃谒龅?液處理部和所述第2液處理部處理后的基板經(jīng)由所述輸入輸出口從所述第1液處理部輸出，所述液處理模塊還具有：至少1個(gè)分隔壁，其使所述第1液處理部?jī)?nèi)的氣氛與所述第2液處理部?jī)?nèi)的氣氛相互隔離；開(kāi)閉器，其使設(shè)置于所述分隔壁的開(kāi)口開(kāi)閉；以及調(diào)換裝置，其經(jīng)由所述開(kāi)口在所述第1液處理部與所述第2液處理部之間進(jìn)行基板的調(diào)換。

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