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龍圖騰網恭喜松下知識產權經營株式會社申請的專利濺射裝置以及濺射方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN108203809B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201711303507.4，技術領域涉及：C23C14/35；該發明授權濺射裝置以及濺射方法是由末次大輔;田邊正明;奧田晃;瀧井謙昌設計研發完成，并于2017-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本濺射裝置以及濺射方法在說明書摘要公布了：提供一種濺射裝置以及濺射方法，能夠穩定地形成高品質的膜。濺射裝置具備能夠在內部相互對置地配置靶材和基板的真空腔、能夠與靶材電連接的直流電源、以及將從直流電源流到靶材的電流脈沖化的脈沖化單元，在真空腔內生成等離子體從而在基板上形成薄膜，濺射裝置還具備：電流計，其對從直流電源流到脈沖化單元的電流進行測量；電源控制器，其對直流電源進行反饋控制，使得由電流計測量的電流值成為給定值；以及脈沖控制器，其對脈沖化單元指示與電源控制器對直流電源的控制周期錯開的脈沖周期。

本發明授權濺射裝置以及濺射方法在權利要求書中公布了：1.一種濺射裝置，具備：真空腔，其能夠在內部相互對置地配置靶材和基板；直流電源，其能夠與所述靶材電連接；以及脈沖化單元，其將從所述直流電源流到所述靶材的電流脈沖化，在所述真空腔內生成等離子體從而在所述基板上形成薄膜，所述濺射裝置還具備：電流計，其連接在所述直流電源與所述脈沖化單元之間，對從所述直流電源流到所述脈沖化單元的電流進行測量；電源控制器，其對所述直流電源的電壓設定值進行反饋控制，使得由所述電流計測量的電流值成為給定值；脈沖控制器，其對所述脈沖化單元指示與所述電源控制器對所述直流電源的控制周期錯開的脈沖周期；磁體，其配置在所述靶材的與所述基板對置的面相反側的背面；旋轉機構，其使所述磁體相對于與所述靶材的所述背面交叉的旋轉軸旋轉；以及旋轉控制器，其控制所述旋轉機構，所述旋轉控制器與所述脈沖控制器連接，能夠接受旋轉的指示值而設定為給定的旋轉速度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人松下知識產權經營株式會社，其通訊地址為：日本國大阪府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。