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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會(huì)社尼康申請(qǐng)的專利基板貼合裝置、計(jì)算裝置、基板貼合方法和計(jì)算方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112955999B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980070212.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)基板貼合裝置、計(jì)算裝置、基板貼合方法和計(jì)算方法是由三石創(chuàng);菅谷功;角田真生;鈴木一弘;塩見(jiàn)隆;福田稔設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-09-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板貼合裝置、計(jì)算裝置、基板貼合方法和計(jì)算方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及基板貼合裝置、計(jì)算裝置、基板貼合方法和計(jì)算方法?；遒N合裝置具備：第一保持部，其保持第一基板；以及第二保持部，其保持第二基板，在第一基板的一部分與第二基板的一部分之間形成初始貼合區(qū)域，并通過(guò)從第二保持部釋放形成了初始貼合區(qū)域的第二基板，來(lái)將第一基板和第二基板貼合，基于與第二基板的形變相關(guān)的信息來(lái)設(shè)定初始貼合區(qū)域。

本發(fā)明授權(quán)基板貼合裝置、計(jì)算裝置、基板貼合方法和計(jì)算方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板貼合裝置，具備：第一保持部，其保持第一基板；第二保持部，其保持第二基板；以及設(shè)定部，其設(shè)定初始貼合區(qū)域，在所述第一基板的一部分與所述第二基板的一部分之間形成接觸區(qū)域之后，擴(kuò)大所述接觸區(qū)域來(lái)形成所述初始貼合區(qū)域，并通過(guò)從所述第二保持部釋放形成了所述初始貼合區(qū)域的所述第二基板，來(lái)將所述第一基板和所述第二基板貼合，所述設(shè)定部基于與所述第二基板的形變相關(guān)的信息來(lái)設(shè)定所述初始貼合區(qū)域。

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