恭喜佛山市博頓光電科技有限公司;中山市博頓光電科技有限公司劉偉基獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜佛山市博頓光電科技有限公司;中山市博頓光電科技有限公司申請的專利真空設(shè)備的旋轉(zhuǎn)工件臺的控制方法、裝置及真空設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119536375B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510106651.7,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G05D3/12;該發(fā)明授權(quán)真空設(shè)備的旋轉(zhuǎn)工件臺的控制方法、裝置及真空設(shè)備是由劉偉基;劉運鴻;冀鳴設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-01-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本真空設(shè)備的旋轉(zhuǎn)工件臺的控制方法、裝置及真空設(shè)備在說明書摘要公布了:本申請涉及一種真空設(shè)備的旋轉(zhuǎn)工件臺的控制方法、裝置及真空設(shè)備;所述方法包括:獲取真空腔體內(nèi)部的各種部件的第一位置參數(shù),并根據(jù)所述第一位置參數(shù)確定所述旋轉(zhuǎn)工件臺在真空腔體內(nèi)的最大運動范圍;根據(jù)當(dāng)前的應(yīng)用工藝確定所述旋轉(zhuǎn)工件臺在真空腔體內(nèi)的目標(biāo)位置;根據(jù)所述目標(biāo)位置及所述最大運動范圍計算所述旋轉(zhuǎn)工件臺擺動的目標(biāo)角度范圍;根據(jù)所述目標(biāo)位置及旋轉(zhuǎn)工件臺的起始位置的第二位置參數(shù)計算所述旋轉(zhuǎn)工件臺的運動位移量;根據(jù)所述運動位移量控制所述旋轉(zhuǎn)工件臺移動至所述目標(biāo)位置,并控制所述旋轉(zhuǎn)工件臺以所述目標(biāo)角度范圍進(jìn)行擺動;該技術(shù)方案,可以最大限度利用了真空腔體的內(nèi)部空間,降低應(yīng)用工藝的限制,提升應(yīng)用工藝效果。
本發(fā)明授權(quán)真空設(shè)備的旋轉(zhuǎn)工件臺的控制方法、裝置及真空設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了:1.一種真空設(shè)備的旋轉(zhuǎn)工件臺的控制方法,其特征在于,包括:獲取真空腔體內(nèi)部的各種部件的第一位置參數(shù),并根據(jù)所述第一位置參數(shù)確定所述旋轉(zhuǎn)工件臺在真空腔體內(nèi)的最大運動范圍;根據(jù)當(dāng)前的應(yīng)用工藝確定所述旋轉(zhuǎn)工件臺在真空腔體內(nèi)的目標(biāo)位置;根據(jù)所述目標(biāo)位置及所述最大運動范圍計算所述旋轉(zhuǎn)工件臺擺動的目標(biāo)角度范圍;所述目標(biāo)角度范圍是旋轉(zhuǎn)工件臺擺動的最大安全角度范圍;根據(jù)所述目標(biāo)位置及旋轉(zhuǎn)工件臺的起始位置的第二位置參數(shù)計算所述旋轉(zhuǎn)工件臺的運動位移量;根據(jù)所述運動位移量控制所述旋轉(zhuǎn)工件臺移動至所述目標(biāo)位置,并控制所述旋轉(zhuǎn)工件臺以所述目標(biāo)角度范圍進(jìn)行擺動。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人佛山市博頓光電科技有限公司;中山市博頓光電科技有限公司,其通訊地址為:528225 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)華沙路12號之一南海平謙國際智慧產(chǎn)業(yè)園A5-1;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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