恭喜比亞迪半導體股份有限公司林秀巖獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜比亞迪半導體股份有限公司申請的專利一種旋轉涂布方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114602760B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011445659.X，技術領域涉及：B05D1/00；該發明授權一種旋轉涂布方法是由林秀巖設計研發完成，并于2020-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種旋轉涂布方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種旋轉涂布方法，所述旋轉涂布方法包括：提供基底；在所述基底上施加旋涂劑；對所述旋涂劑進行旋轉涂布，以在所述基底的表面形成旋涂膜層；執行第一振蕩步驟；執行烘烤步驟，并且至少在所述烘烤步驟的部分時間內執行第二振蕩步驟，以固化所述旋涂膜層。本發明通過增加所述第一振蕩步驟和第二振蕩步驟可以改善旋涂膜層厚度的均勻性。所述旋涂膜層的厚度均勻性從7.02％提高至3％以內，同時所述方法還可以節約旋涂劑使用成本。
本發明授權一種旋轉涂布方法在權利要求書中公布了：1.一種旋轉涂布方法，其特征在于，所述旋轉涂布方法包括：提供基底；在所述基底上施加旋涂劑；對所述旋涂劑進行旋轉涂布，以在所述基底的表面形成旋涂膜層；執行第一振蕩步驟，所述第一振蕩步驟的頻率為0.5KHz-3.5KHz；執行烘烤步驟，并且至少在所述烘烤步驟的部分時間內執行第二振蕩步驟，所述第二振蕩步驟的頻率為0.1KHz-0.5KHz，以固化所述旋涂膜層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人比亞迪半導體股份有限公司，其通訊地址為：518119 廣東省深圳市大鵬新區葵涌街道延安路1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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