恭喜ASML控股股份有限公司K·肖梅獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASML控股股份有限公司申請的專利用于感測對準標記的設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115023664B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180011935.8，技術領域涉及：G03F9/00；該發明授權用于感測對準標記的設備是由K·肖梅;J·L·克勒澤設計研發完成，并于2021-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于感測對準標記的設備在說明書摘要公布了：用于感測多個對準標記的設備和方法，其中檢測器的光軸被分成多個軸線，每個軸線可以實質上同時檢測單獨的對準標記以產生可以隨后被復用并且被呈現給單個檢測器或多個檢測器的信號，因而允許更快速地檢測多個標記。
本發明授權用于感測對準標記的設備在權利要求書中公布了：1.一種用于感測多個對準標記的設備，所述設備包括：照射系統，所述照射系統被布置成提供多個光束以照射所述多個對準標記中的相應對準標記；衍射光收集光學系統，所述衍射光收集光學系統被布置成收集來自從所述多個對準標記中的相應對準標記衍射的多個衍射光束的衍射光；干涉儀，所述干涉儀被布置成接收由所述衍射光收集光學系統收集的所述衍射光并且被配置成基于所述衍射光來產生光學輸出；以及檢測系統，所述檢測系統被布置成接收所述光學輸出并且被配置成基于所述光學輸出來產生電信號；所述設備還包括：用于引起所述多個對準標記與所述衍射光收集光學系統的相對運動的裝置；和解復用器，所述解復用器被配置成基于由所述檢測系統接收到所述電信號的計時來解復用由所述多個對準標記衍射的光。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML控股股份有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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