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龍圖騰網恭喜深圳市新晶路電子科技有限公司申請的專利一種晶圓上料裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119560449B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510114774.5，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權一種晶圓上料裝置是由謝亮春;吳澤曉;張小波設計研發完成，并于2025-01-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓上料裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種晶圓上料裝置，涉及半導體制造技術領域，包括：底板；支持組件；支持組件包括固定連接在底板的頂端兩側的安裝架；送料組件；送料組件包括固定連接在底板頂端一側的氣缸一，氣缸一的驅動端固定連接有主動移動座；夾持組件；夾持組件包括固定連接在主動移動座上的氣缸二，氣缸二的驅動端固定連接有支板，支板的內部兩側均開設有滑槽；這種設計通過氣動裝置的配合，送料與夾持過程同步進行，提高了操作效率，減少了停頓時間，保障了晶圓在傳輸過程中的穩定性與連續性，與真空吸盤吸附相比，本方案不依賴于晶圓的表面特性，因此對晶圓的表面平整度要求較低，避免了表面平整度對晶圓穩定性產生影響，確保了更高的穩定性和安全性。

本發明授權一種晶圓上料裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓上料裝置，其特征在于，包括：底板（1）；支持組件（2）；支持組件（2）包括固定連接在底板（1）的頂端兩側的安裝架（21）；送料組件（3）；送料組件（3）包括固定連接在底板（1）頂端一側的氣缸一（31），所述氣缸一（31）的驅動端固定連接有主動移動座（32）；夾持組件（4）；夾持組件（4）包括固定連接在主動移動座（32）上的氣缸二（41），所述氣缸二（41）的驅動端固定連接有支板（42），所述支板（42）的內部兩側均開設有滑槽（43），所述滑槽（43）上滑動連接有移動板（45），兩個所述移動板（45）的相近一端固定連接有氣缸三（44）；旋轉驅動組件（5）；旋轉驅動組件（5）包括固定連接在移動板（45）上的安裝板（51），所述安裝板（51）上安裝有電機（52），所述電機（52）的驅動端固定連接有主動齒輪（53），所述主動齒輪（53）上固定連接有延伸桿一（54），所述延伸桿一（54）的內部固定連接有從動齒輪（56）；翻轉組件（6）；翻轉組件（6）包括蝸輪（61）與定位圈（64），所述蝸輪（61）的外側固定連接有支撐座（62），所述支撐座（62）的兩側均固定連接有轉塊（63），所述定位圈（64）的內部開設有轉槽（65）；夾持調節組件（7）；夾持調節組件（7）包括固定連接在支撐座（62）兩端的卡架（71），所述卡架（71）的內部固定連接有卡塊（72），所述支撐座（62）的頂端滑動連接有夾持夾（73），所述夾持夾（73）的兩側均開設有卡槽（74），所述夾持夾（73）的一端設置有推動槽（75）。

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