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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)申請(qǐng)的專利襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111508881B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201911348442.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置是由桑原丈二設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-12-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置。載具搬送機(jī)構(gòu)51在2個(gè)開(kāi)啟機(jī)構(gòu)9、10的載置臺(tái)13與多個(gè)載具保管架53之間搬送載具C。多個(gè)載具保管架53及載具搬送機(jī)構(gòu)51分別搭載在第1處理塊3之上。因此，也可以不像以往那樣從裝載塊在水平方向上延長(zhǎng)地設(shè)置多個(gè)載具保管架53及載具搬送機(jī)構(gòu)51，能夠削減在水平方向上延長(zhǎng)的設(shè)置面積。即，能夠減小襯底處理裝置1的占據(jù)面積。

本發(fā)明授權(quán)襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種襯底處理裝置，對(duì)襯底進(jìn)行處理，且包含以下要素：第1裝載塊，設(shè)有用于載置能夠收納多個(gè)襯底的載具的至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)；第1處理塊，在水平方向上與所述第1裝載塊連結(jié)；多個(gè)載具保管架，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少一個(gè)之上，分別保管所述載具；載具搬送機(jī)構(gòu)，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少一個(gè)之上，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與所述多個(gè)載具保管架之間搬送所述載具；及所述第1裝載塊構(gòu)成為能夠?qū)d置于所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)的所述載具進(jìn)行襯底的放入取出；且所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)設(shè)于比所述第1處理塊的上表面高的位置，且所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)設(shè)于所述第1處理塊的上方。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)，其通訊地址為：日本京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。