恭喜日本株式會社日立高新技術科學望月稔宏獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜日本株式會社日立高新技術科學申請的專利會聚離子束裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112563099B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011022906.5,技術領域涉及:H01J37/08;該發明授權會聚離子束裝置是由望月稔宏;石井晴幸;上本敦設計研發完成,并于2020-09-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本會聚離子束裝置在說明書摘要公布了:提供會聚離子束裝置。在實際照射會聚離子束之前,至少能夠掌握射束以怎樣的朝向照射固定試樣的試樣臺。會聚離子束裝置具有:會聚離子束鏡筒20,其用于對試樣200照射會聚離子束20A;試樣臺51,其載置試樣;以及試樣載臺,其載置試樣臺,至少能夠沿水平方向和高度方向移動,其中,會聚離子束裝置100還具有:存儲部6M,其預先存儲試樣臺和會聚離子束的照射軸線的三維數據,三維數據與試樣載臺的載臺坐標相關聯;顯示部7;以及顯示控制部6A,其根據試樣臺和會聚離子束的照射軸線的三維數據,使顯示部顯示使試樣載臺進行動作而使試樣臺移動到規定的位置時的虛擬的試樣臺51v和會聚離子束的照射軸線20Av的位置關系。
本發明授權會聚離子束裝置在權利要求書中公布了:1.一種會聚離子束裝置,其具有:會聚離子束鏡筒,其用于對試樣照射會聚離子束;試樣臺,其載置所述試樣;以及試樣載臺,其載置所述試樣臺,至少能夠沿水平方向和高度方向移動,其特征在于,所述會聚離子束裝置還具有:存儲部,其預先存儲所述試樣臺和所述會聚離子束的照射軸線的三維數據,所述三維數據與所述試樣載臺的載臺坐標相關聯;顯示部;以及顯示控制部,其根據所述試樣臺和所述會聚離子束的照射軸線的三維數據,使所述顯示部顯示使所述試樣載臺進行動作而使所述試樣臺移動到規定的位置時的虛擬的所述試樣臺與虛擬的所述會聚離子束的照射軸線之間的位置關系,所述規定的位置使所述試樣位于被所述會聚離子束照射的與共心高度一致的照射位置,所述共心高度與在所述試樣臺上載置了試樣的狀態下即使使試樣傾斜試樣上的特定的觀察點也不發生移動的所述試樣載臺的高度對應。
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