恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司洪明松獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利處理晶圓的系統與方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113013057B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011503457.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權處理晶圓的系統與方法是由洪明松;陳嘉倫;郭承浩設計研發完成，并于2020-12-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本處理晶圓的系統與方法在說明書摘要公布了：本揭露提供一種處理晶圓的系統與方法。該系統及方法包括偵測一晶圓傳遞機器人的振動、基于這些振動來產生信號，及處理這些信號以用于決定通過該晶圓傳遞機器人保持的這些晶圓的一條件。
本發明授權處理晶圓的系統與方法在權利要求書中公布了：1.一種處理晶圓的系統，其特征在于，包含：一晶圓升降機，用以將至少一個晶圓移動至一處理區域中以用于對該至少一個晶圓執行一處理步驟且自該處理區域移除該至少一個晶圓；一晶圓傳遞機器人，用以保持該至少一個晶圓、將該至少一個晶圓置放在該晶圓升降機上，且自該晶圓升降機移除該至少一個晶圓，該晶圓傳遞機器人包含至少一個可移動臂，該至少一個可移動臂具有多個狹槽，當該至少一個可移動臂移動以自該晶圓升降機移除該至少一個晶圓時，每個狹槽用以接收該至少一個晶圓中的一晶圓的一邊緣的一部分；一振動感測器，附接至該晶圓傳遞機器人的該至少一個可移動臂且用以在通過該晶圓傳遞機器人保持或移除該至少一個晶圓期間偵測該晶圓傳遞機器人的振動且基于該振動來產生信號；以及一處理模塊，通訊地耦合至該振動感測器，該處理模塊用以處理所述信號以用于決定該至少一個晶圓的一條件，其中該至少一個晶圓的該條件包含該至少一個晶圓中的一或多個晶圓為破裂、斷裂、不正確地保持，及或遺漏。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人臺灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市新竹科學工業園區力行六路八號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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