恭喜江蘇魯汶儀器股份有限公司葉聯獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江蘇魯汶儀器股份有限公司申請的專利一種用于干法去膠后清除殘膠的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115332067B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110505739.8，技術領域涉及：H01L21/311；該發明授權一種用于干法去膠后清除殘膠的方法是由葉聯;彭泰彥;車東晨;陳兆超;胡冬冬;許開東設計研發完成，并于2021-05-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于干法去膠后清除殘膠的方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種用于干法去膠后清除殘膠的方法，采用在晶圓與熱臺不接觸結合接觸PinUp結合Pindown模式的方式，優化了工藝過程，開始時向刻蝕腔體內通入水和氧氣不加上射頻來起到軟化膠的作用，之后向刻蝕腔體內通入水同時啟動微波源，射頻功率會影響膠的軟化效果，最后關閉微波源，繼續向刻蝕腔體內通入水、氧氣和氮氣，重復操作，即可完成去膠。本發明能夠在大規模集成電路工業制造環境下應用，是通過改變干法去膠過程中晶圓與熱臺的接觸在微波源射頻功率作用下去膠，以及晶圓與熱臺不接觸模式無射頻功率軟化膠，和制造過程中的優化方法。實驗結果顯示，晶圓表面殘膠被完全去除干凈，效果相當明顯。
本發明授權一種用于干法去膠后清除殘膠的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于干法去膠后清除殘膠的方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1）將晶圓放置于刻蝕腔體內；步驟2）頂針自熱臺內升出并頂起所述晶圓，以使所述熱臺和所述晶圓在上下方向上間隔開；步驟3）先后向所述刻蝕腔體內通入氧氣和水，以對光刻膠的表層部分進行軟化；步驟4）所述頂針自所述晶圓底部下降至所述熱臺內，以使所述晶圓抵接在所述熱臺上，向所述刻蝕腔體內通入水并同時啟動微波源；所述微波源的射頻頻率為2.45GHz；步驟5）反應結束后，關閉所述微波源，繼續向所述刻蝕腔體內通入水，并同時通入氧氣和氮氣，進行去膠操作。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇魯汶儀器股份有限公司，其通訊地址為：221000 江蘇省徐州市邳州經濟開發區遼河西路8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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