恭喜株式會社荏原制作所富田正輝獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜株式會社荏原制作所申請的專利鍍覆裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115210413B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180016348.8,技術領域涉及:C25D17/00;該發明授權鍍覆裝置是由富田正輝;關正也設計研發完成,并于2021-06-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本鍍覆裝置在說明書摘要公布了:提供一種順暢地進行鍍覆液向被鍍覆面的接觸并且能夠抑制氣泡殘留于被鍍覆面的鍍覆裝置。鍍覆裝置的基板保持器具有:頭部模塊,用于與基板接觸來進行保持;傾斜模塊,構成為使頭部模塊傾斜;以及升降模塊,構成為使頭部模塊升降。傾斜模塊具有:第一部件;第二部件,支承頭部模塊并且相對于第一部件連接為能夠繞旋轉軸旋轉;以及致動器,用于使第二部件繞旋轉軸旋轉。旋轉軸從保持于頭部模塊的基板的中心偏移,升降模塊構成為通過使傾斜模塊的第一部件升降來使基板保持器升降。
本發明授權鍍覆裝置在權利要求書中公布了:1.一種鍍覆裝置,其特征在于,具備:鍍覆槽,貯存鍍覆液,并且配置有陽極;和基板保持器,配置于所述陽極的上方并用于面對所述陽極的上表面來保持作為陰極的基板,所述基板保持器具有:頭部模塊,用于與所述基板接觸來進行保持;傾斜模塊,構成為使所述頭部模塊傾斜;以及升降模塊,構成為使所述頭部模塊升降,所述傾斜模塊具有:第一部件;第二部件,支承所述頭部模塊并且相對于所述第一部件連接為能夠繞旋轉軸旋轉;以及致動器,用于使所述第二部件繞所述旋轉軸旋轉,所述旋轉軸從保持于所述頭部模塊的基板的中心偏移,所述升降模塊構成為通過使所述傾斜模塊的所述第一部件升降來使所述基板保持器升降,所述第一部件具有在鉛垂方向延伸的鉛垂延伸部分,所述升降模塊與所述鉛垂延伸部分的水平方向上的一端側連接,所述旋轉軸相對于所述第一部件中的連接所述升降模塊的方向垂直地延伸。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社荏原制作所,其通訊地址為:日本東京都;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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