恭喜江蘇甫瑞微納傳感科技有限公司劉瑞獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江蘇甫瑞微納傳感科技有限公司申請的專利復合結構的微加熱板及其制作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN109587846B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201811622329.6，技術領域涉及：H05B3/28；該發明授權復合結構的微加熱板及其制作方法是由劉瑞設計研發完成，并于2018-12-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本復合結構的微加熱板及其制作方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種復合結構的微加熱板及其制作方法。所述的制作方法包括：于一第一襯底的第二表面加工形成空腔結構；于一第二襯底表面依次生長形成隔熱層和第一絕緣層；將所述第一絕緣層與所述第一襯底的第一表面鍵合，所述第一表面與第二表面相背對，之后去除所述第二襯底；在所述隔熱層上依次形成加熱層、第二絕緣層和測試層。其中第一、第二襯底可以分別采用石英襯底、單晶硅襯底。本發明提供的復合結構的微加熱板的結構簡單、牢固，可靠性高，穩定性好，尤其是具有高效率的加熱性能，同時其制備工藝簡單易于操作，可以利用MEMS工藝快速實施，適于規模化生產。
本發明授權復合結構的微加熱板及其制作方法在權利要求書中公布了：1.一種復合結構的微加熱板的制作方法，其特征在于，包括：采用三維熱壓成型工藝在一石英襯底的第二表面加工形成空腔結構；于一單晶硅襯底表面依次生長形成隔熱層和第一絕緣層；采用陽極鍵合工藝將所述第一絕緣層與所述石英襯底的第一表面鍵合，所述第一表面與第二表面相背對，之后采用減薄工藝去除所述單晶硅襯底，從而使所述隔熱層露出，然后刻蝕所述石英襯底，使所述空腔結構沿軸向貫穿所述石英襯底；在所述隔熱層上依次形成加熱層、第二絕緣層和測試層；所述隔熱層、第一絕緣層、第二絕緣層是采用CVD方法生長形成。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇甫瑞微納傳感科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市高新區濱河路1358號4號樓301、302、303室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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