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龍圖騰網(wǎng)恭喜珠海格力電器股份有限公司申請(qǐng)的專利功率半導(dǎo)體器件及其制作工藝獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112397380B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201910760390.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/28；該發(fā)明授權(quán)功率半導(dǎo)體器件及其制作工藝是由郭依騰;史波設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-08-16向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本功率半導(dǎo)體器件及其制作工藝在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)涉及功率半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種功率半導(dǎo)體器件及其制作工藝。功率半導(dǎo)體器件的制作工藝包括以下步驟：在襯底的正面沉積一層外延層并完成功率半導(dǎo)體器件正面結(jié)構(gòu)的制作；對(duì)所述襯底的背面進(jìn)行刻蝕，刻蝕穿整個(gè)襯底，直至外延層，形成引線孔；在所述引線孔里填充金屬并在所述襯底背面墊積形成背面金屬層，并退火合金，將所述外延層通過金屬引線到背面金屬層。本工藝不需對(duì)襯底進(jìn)行減薄，而是采用引線孔技術(shù)，將背面電極引出。在不影響焊接工藝和功率半導(dǎo)體器件電性的基礎(chǔ)上，取締了減薄工藝，保留了襯底作為支撐，避免了減薄過程以及后續(xù)薄片制作工藝上造成的碎片風(fēng)險(xiǎn)，節(jié)約了成本。

本發(fā)明授權(quán)功率半導(dǎo)體器件及其制作工藝在權(quán)利要求書中公布了：1.一種功率半導(dǎo)體器件的制作工藝，其特征在于，包括以下步驟：在襯底的正面形成一層外延層并完成功率半導(dǎo)體器件正面結(jié)構(gòu)的制作；對(duì)所述襯底的背面進(jìn)行刻蝕，刻蝕穿整個(gè)襯底，直至外延層，形成引線孔；在所述引線孔里填充金屬并在所述襯底背面墊積形成背面金屬層，并退火合金，將所述外延層通過金屬引線到背面金屬層，器件背面的所述引線孔的總面積大于等于器件正面的引線孔的總面積。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人珠海格力電器股份有限公司，其通訊地址為：519070 廣東省珠海市前山金雞西路；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。