恭喜濰坊歌爾微電子有限公司畠山庸平獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜濰坊歌爾微電子有限公司申請的專利一種MEMS器件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111083623B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911423033.6,技術領域涉及:H04R19/04;該發明授權一種MEMS器件是由畠山庸平;林育菁設計研發完成,并于2019-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種MEMS器件在說明書摘要公布了:本發明公開了一種MEMS器件,包括基板、MEMS芯片層和網格膜,所述基板具有第一表面和第二表面,所述基板上形成有貫通的第一通孔;所述MEMS芯片層設置在所述基板的第二表面的一側;所述網格膜設置在所述基板的第一表面的一側,所述網格膜在對應于所述第一通孔的位置處形成有透聲區,所述透聲區上分布有網孔。本發明的MEMS器件的所述基板在完成傳統結構封裝和信號傳遞的同時,起到了對所述網格膜很好的支撐作用,而且簡化了所述MEMS器件的裝配工藝和降低了制造成本。
本發明授權一種MEMS器件在權利要求書中公布了:1.一種MEMS器件,其特征在于,包括:基板,所述基板具有第一表面和第二表面,所述基板上形成有貫通的第一通孔;MEMS芯片層,所述MEMS芯片層設置在所述基板的第二表面的一側,所述MEMS芯片層覆蓋在所述第一通孔上;網格膜,所述網格膜設置在所述基板的第一表面的一側,所述網格膜在對應于所述第一通孔的位置處形成有透聲區,所述透聲區上分布有網孔,所述透聲區被配置為供聲音穿過,以傳至所述MEMS芯片層;所述透聲區呈矩形形狀,所述第一通孔的徑向端面呈矩形形狀,所述網格膜的材料采用晶體材料;所述網孔呈長方形孔,所述長方形孔的開孔方向與所述晶體的晶面的保持一致。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人濰坊歌爾微電子有限公司,其通訊地址為:261061 山東省濰坊市高新區新城街道蓉花社區蓉花路102號歌爾二期工業園10號樓;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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