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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利包含具有減少的盲管段的氣體輸送系統的襯底處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112005355B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980026700.9，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權包含具有減少的盲管段的氣體輸送系統的襯底處理系統是由拉梅什·錢德拉塞卡拉;安東尼奧·澤維爾;弗蘭克·洛倫·帕斯夸里;瑞安·布拉奎爾;詹尼弗·利·佩特拉利亞;米納克斯·馬穆努魯設計研發完成，并于2019-04-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本包含具有減少的盲管段的氣體輸送系統的襯底處理系統在說明書摘要公布了：一種氣體輸送系統包括2通閥，其包括設置于第一端口和第二端口之間的第一閥。4通閥包括連接至第一端口和第二端口的第一節點。旁路路徑設置于第三端口和第四端口之間。第二節點沿著所述旁路路徑設置。第二閥設置于第一節點和第二節點之間。歧管塊限定氣體流通道，所述氣體流通道：被配置以將所述4通閥的所述第一端口連接至第一入口，被配置以將所述4通閥的所述第二端口連接至所述2通閥的所述第一端口，將所述4通閥的所述第三端口連接至第二入口，將所述2通閥的所述第二端口連接至第一出口，以及將所述4通閥的所述第四端口連接至第二出口。

本發明授權包含具有減少的盲管段的氣體輸送系統的襯底處理系統在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理系統的氣體輸送系統，其包括：2通閥，其包括：第一端口和第二端口；以及第一閥，其設置于所述第一端口和所述第二端口之間；4通閥，其包括：第一端口、第二端口、第三端口和第四端口；第一節點，其連接至所述第一端口和所述第二端口；旁路路徑，其設置于所述第三端口和所述第四端口之間；第二節點，其沿著所述第三端口和所述第四端口之間的所述旁路路徑設置；以及第二閥，其設置于所述第一節點和所述第二節點之間；以及歧管塊，其限定氣體流通道，所述氣體流通道：被配置以將所述4通閥的所述第一端口連接至第一入口；被配置以將所述4通閥的所述第二端口連接至所述2通閥的所述第一端口；被配置以將所述4通閥的所述第三端口連接至第二入口；被配置以將連接所述2通閥的所述第二端口至第一出口；以及被配置以將連接所述4通閥的所述第四端口至第二出口；第一氣體源；第二氣體源；歧管，其連接至所述第一入口；第三閥，其選擇性地將所述第一氣體源連接至所述歧管；以及第四閥，其選擇性地將所述第二氣體源連接至所述歧管。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。