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龍圖騰網(wǎng)恭喜廈門銀科啟瑞半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種晶圓減薄裝置及其減薄方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119526617B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510091290.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B28D5/02；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓減薄裝置及其減薄方法是由張銀橋;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-01-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓減薄裝置及其減薄方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種晶圓減薄裝置及其減薄方法，涉及晶圓減薄技術(shù)領(lǐng)域，包括第一電動轉(zhuǎn)臺、第二電動轉(zhuǎn)臺、真空吸盤座和承載塊，承載塊的底面對稱安裝有電動伸縮桿，電動伸縮桿的輸出軸與第一電動轉(zhuǎn)臺固定連接，還包括兩個承載塊之間設(shè)置有第一安置箱和第二安置箱，第一安置箱的內(nèi)部呈環(huán)形陣列設(shè)置有銑刀，第二安置箱的內(nèi)部呈環(huán)形陣列設(shè)置有磨削塊，第一安置箱的兩側(cè)對稱設(shè)置有調(diào)節(jié)柱，調(diào)節(jié)柱的上方均設(shè)置有夾持塊，第一安置箱和第二安置箱的表面均設(shè)置有定位塊。本發(fā)明可以通過使銑刀和磨削塊保持同步移動，使得銑刀與磨削塊在切換后可以直接進(jìn)行晶圓減薄工作，無需再次進(jìn)行對中調(diào)節(jié)。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓減薄裝置及其減薄方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓減薄裝置，包括第一電動轉(zhuǎn)臺，所述第一電動轉(zhuǎn)臺的表面呈環(huán)形陣列安裝有第二電動轉(zhuǎn)臺，所述第二電動轉(zhuǎn)臺的內(nèi)部均安裝有真空吸盤座，所述第一電動轉(zhuǎn)臺的上方對稱設(shè)置有承載塊，所述承載塊的底面對稱安裝有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的輸出軸與所述第一電動轉(zhuǎn)臺固定連接，其特征在于，還包括：兩個所述承載塊之間設(shè)置有第一安置箱和第二安置箱，所述第一安置箱的內(nèi)部呈環(huán)形陣列設(shè)置有銑刀，所述第二安置箱的內(nèi)部呈環(huán)形陣列設(shè)置有磨削塊，用于同步調(diào)節(jié)銑刀和磨削塊的磨削半徑；所述第一安置箱的兩側(cè)對稱設(shè)置有調(diào)節(jié)柱，通過使所述調(diào)節(jié)柱轉(zhuǎn)動來切換所述銑刀和所述磨削塊，所述調(diào)節(jié)柱的上方均設(shè)置有夾持塊，所述第一安置箱和所述第二安置箱的表面均設(shè)置有定位塊，通過所述夾持塊將對應(yīng)的所述定位塊夾持，以保持所述第一安置箱和所述第二安置箱的豎直狀態(tài)，同時對位于上方的所述第一安置箱或所述第二安置箱進(jìn)行夾持，以保持未處于工作狀態(tài)的所述磨削塊或所述銑刀處于靜止?fàn)顟B(tài)；所述第一安置箱的內(nèi)部底面呈環(huán)形陣列開設(shè)有調(diào)節(jié)槽，所述銑刀分別位于對應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽的內(nèi)部，所述第一安置箱的上表面開設(shè)的第一安裝槽內(nèi)呈環(huán)形陣列安裝有第一滑軌，所述第一滑軌的內(nèi)部滑動連接有滑臺，所述滑臺的底面安裝有第三電機(jī)，所述第三電機(jī)輸出軸的端部安裝有夾持頭，所述銑刀被夾持在所述夾持頭的內(nèi)部。

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