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龍圖騰網恭喜成都高投芯未半導體有限公司申請的專利一種探針卡檢測系統與方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119619770B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510157745.7，技術領域涉及：G01R31/12；該發明授權一種探針卡檢測系統與方法是由胡傲雪;孟繁新;封明輝;馮正林;符杰;何家霖;岳蘭設計研發完成，并于2025-02-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種探針卡檢測系統與方法在說明書摘要公布了：本發明提出一種探針卡檢測系統與方法，探針卡檢測系統包括：測試機、探針臺以及晶圓樣本，控制器控制脈沖電壓源通過第一電源端和第二電源端施加脈沖電壓；第一漏電流監測裝置監測晶圓樣本的發射極量測端與集電極量測端之間的第一漏電流值，并將第一漏電流值傳輸給控制器；控制器根據第一漏電流值確定探針卡是否存在耐壓隔離異常問題。通過對第一漏電流值進行監測，準確判斷探針卡是否存在耐壓隔離異常問題，保障探針卡檢測結果的準確性。

本發明授權一種探針卡檢測系統與方法在權利要求書中公布了：1.一種探針卡檢測系統，其特征在于，所述探針卡檢測系統包括：測試機、探針臺以及晶圓樣本，所述晶圓樣本的集電極量測端、集電極信號輸入端均與所述探針臺的載片臺短接，所述測試機中設置有控制器、脈沖電壓源以及第一漏電流監測裝置，所述控制器分別與所述脈沖電壓源、所述第一漏電流監測裝置連接；待檢測的探針卡設置有第一連接頭、第二連接頭、第一組探針以及第二組探針，所述第一連接頭與所述第一組探針導通，所述第二連接頭與所述第二組探針導通，所述第一組探針連接于所述晶圓樣本的發射極信號輸入端，所述第二組探針連接于所述晶圓樣本的發射極量測端；所述脈沖電壓源的第一電源端連接于所述載片臺，所述第一漏電流監測裝置的第一端連接于所述載片臺，所述脈沖電壓源的第二電源端連接于所述第一連接頭，所述第一漏電流監測裝置的第二端連接于所述第二連接頭；所述控制器用于控制所述脈沖電壓源通過所述第一電源端和所述第二電源端施加脈沖電壓；所述第一漏電流監測裝置用于監測所述晶圓樣本的發射極量測端與集電極量測端之間的第一漏電流值，并將所述第一漏電流值傳輸給所述控制器；所述控制器用于根據所述第一漏電流值確定所述探針卡是否存在耐壓隔離異常問題；所述測試機中還設置有第二漏電流監測裝置；待檢測的探針卡設置有第三連接頭、第四連接頭、第三組探針以及第四組探針，所述第三連接頭與所述第三組探針導通，所述第四連接頭與所述第四組探針導通，所述第三組探針連接于所述晶圓樣本的柵極信號輸入端，所述第四組探針連接于所述晶圓樣本的柵極量測端；所述脈沖電壓源的第三電源端連接于所述第三連接頭，所述第二漏電流監測裝置的第一端連接于所述第四連接頭，所述第二漏電流監測裝置的第二端連接于所述第二連接頭；所述控制器用于控制所述脈沖電壓源通過所述第一電源端和所述第三電源端施加第一脈沖電壓；所述第二漏電流監測裝置用于監測所述晶圓樣本的發射極量測端與柵極量測端之間的第二漏電流值，并將所述第二漏電流值傳輸給所述控制器；所述控制器用于確定所述第二漏電流值是否大于第二電流閾值，若是，則確定所述探針卡存在漏電流異常問題。

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