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龍圖騰網恭喜廈門銀科啟瑞半導體科技有限公司申請的專利一種晶圓清洗設備及其清洗方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119608675B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510159062.5，技術領域涉及：B08B3/10；該發明授權一種晶圓清洗設備及其清洗方法是由張銀橋;王建紅;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名設計研發完成，并于2025-02-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓清洗設備及其清洗方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓清洗設備及其清洗方法，屬于晶圓清洗領域，其包括操作臺，其上具有一安裝平面，在其所具有的安裝平面上可移除的布設有一清洗箱。本發明的晶圓清洗設備及其清洗方法，通過布設的驅動構件，工作人員在將驅動軸穿入至外置軸座內后，即可使得驅動構件與入料件之間形成可拆分整體，通過開啟第二驅動電機的開關，以使得驅動軸轉動，能夠帶動入料件進行旋轉，以使得入料件能夠帶動多組晶圓在清洗箱內進行清洗作業，與此同時，能夠驅動第一錐齒輪及第二錐齒輪轉動，以驅動凸輪進行轉動，在此過程中，能夠通過布設的配重桿套以使得延伸桿在轉動時進行配重。

本發明授權一種晶圓清洗設備及其清洗方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗設備，其特征在于，其包括操作臺（1），其上具有一安裝平面，在其所具有的安裝平面上可移除的布設有一清洗箱（11）；加熱構件（12），其可拆卸的布設于該安裝平面上，其能夠將該操作臺（1）罩住；調節構件（2），其可拆卸的布設于該安裝平面上，其能夠將該操作臺（1）包圍；入料推送構件（3），其可拆卸的安裝于該調節構件（2）上；驅動構件（4），其可拆卸的安裝于該調節構件（2）上，該驅動構件（4）能夠穿入至該清洗箱（11）內；第一隨動晃動構件（5），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）的一內側壁上；補液構件（6），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）內；聯動攪拌構件（7），其可拆卸的布設于該補液構件（6）上；聯動封堵構件（8），其可拆卸的安裝于該驅動構件（4）上，該聯動封堵構件（8）能夠穿入至該補液構件（6）內；第二隨動晃動構件（9），其可拆卸的布設于該清洗箱（11）的內側壁上，該第二隨動晃動構件（9）能夠在該驅動構件（4）輸出時被驅動，在當該第二隨動晃動構件（9）被驅動時，能夠對該清洗箱（11）的內壁進行敲擊作業；該第一隨動晃動構件（5）包括隨動板（51），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）的一內側壁上；隨動桿（52），其穿入至該隨動板（51）內，該隨動桿（52）能夠沿著該隨動板（51）進行上下的滑動；隨動滾輪（53），其可轉動的安裝于該隨動桿（52）的頂部；穩固桿（54），其可拆卸的安裝于該隨動桿（52）的頂部，且該穩固桿（54）能夠從該隨動板（51）中穿過，在該穩固桿（54）從該隨動板（51）中穿過的一端上布設有一墊片；第二彈簧（55），其可移除的布設于該穩固桿（54）上；隨動晃動板（56），其可拆卸的安裝于該隨動桿（52）的底部，在該隨動晃動板（56）上可拆卸的安裝有一尾板（57）；三組齒板（58），均可拆卸的安裝于該隨動晃動板（56）的邊側面，且三組該齒板（58）的齒數為自下而上是逐漸增多的；內置軸座（59），其可拆卸的安裝于該清洗箱（11）的一內側壁上，在該內置軸座（59）內可轉動的布設有一齒桿（591），在該齒桿（591）上可拆卸的布設有一第一隨動齒輪（592），在初始位置時，該第一隨動齒輪（592）與位于最低處的一組齒板（58）相嚙合，在該齒桿（591）上還可拆卸的安裝有一第二隨動齒輪（593），在該第二隨動齒輪（593）上可移除的布設有一皮帶（594），且該皮帶（594）能夠帶動多組第二隨動齒輪（593）進行轉動，在該齒桿（591）上還可拆卸的布設有多組十字攪拌葉（595）。

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