恭喜三星電子株式會社閔宣基獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜三星電子株式會社申請的專利包括柵極分離區(qū)的半導(dǎo)體器件獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN110416292B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:201910279488.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D64/27;該發(fā)明授權(quán)包括柵極分離區(qū)的半導(dǎo)體器件是由閔宣基設(shè)計研發(fā)完成,并于2019-04-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本包括柵極分離區(qū)的半導(dǎo)體器件在說明書摘要公布了:提供了一種包括柵極分離區(qū)的半導(dǎo)體器件。所述半導(dǎo)體器件包括:有源區(qū)之間的隔離區(qū);所述隔離區(qū)上的層間絕緣層;與所述有源區(qū)重疊的柵極線結(jié)構(gòu),所述柵極線結(jié)構(gòu)位于所述隔離區(qū)上并具有彼此相對的端部;以及所述隔離區(qū)上的柵極分離區(qū),所述柵極分離區(qū)位于所述柵極線結(jié)構(gòu)的彼此相對的端部之間,并且位于所述層間絕緣層之間。所述柵極分離區(qū)包括間隙填充層和緩沖結(jié)構(gòu),緩沖結(jié)構(gòu)包括緩沖襯層,所述緩沖襯層位于所述間隙填充層與所述隔離區(qū)之間,位于所述柵極線結(jié)構(gòu)的彼此相對的端部與所述間隙填充層的側(cè)表面之間,并且位于所述層間絕緣層與所述間隙填充層的側(cè)表面之間。
本發(fā)明授權(quán)包括柵極分離區(qū)的半導(dǎo)體器件在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體器件,包括:有源區(qū)之間的隔離區(qū);所述隔離區(qū)上的層間絕緣層;與所述有源區(qū)重疊的柵極線結(jié)構(gòu),所述柵極線結(jié)構(gòu)位于所述隔離區(qū)上并具有彼此相對的端部;以及所述隔離區(qū)上的柵極分離區(qū),所述柵極分離區(qū)位于所述柵極線結(jié)構(gòu)的彼此相對的端部之間,并且位于所述層間絕緣層之間,其中:所述柵極分離區(qū)包括間隙填充層和緩沖結(jié)構(gòu),所述緩沖結(jié)構(gòu)包括緩沖襯層,所述緩沖襯層位于所述間隙填充層與所述隔離區(qū)之間,位于所述柵極線結(jié)構(gòu)的彼此相對的端部與所述間隙填充層的側(cè)表面之間,并且位于所述層間絕緣層與所述間隙填充層的側(cè)表面之間,其中,形成所述緩沖襯層的絕緣材料的介電常數(shù)低于形成所述間隙填充層的絕緣材料的介電常數(shù)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人三星電子株式會社,其通訊地址為:韓國京畿道;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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