恭喜朗姆研究公司詹姆斯·S·思姆斯獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利沉積氮化硅膜的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112930581B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980068903.4，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權沉積氮化硅膜的方法是由詹姆斯·S·思姆斯;謝恩·唐;維克蘭特·萊;安德魯·麥克羅;邱華檀設計研發完成，并于2019-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本沉積氮化硅膜的方法在說明書摘要公布了：提供了一種用于在堆棧上沉積氮化硅層的方法。該方法包括提供包括多個循環的原子層沉積，其中每個循環包括通過提供含硅前體氣體而用含硅前體為堆棧投料，提供N2等離子體轉化和提供H2等離子體轉化。
本發明授權沉積氮化硅膜的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于在堆棧上沉積氮化硅層的方法，所述方法包括提供包括多個循環的原子層沉積，其中每個循環包括：通過提供含鹵化硅前體氣體而用含鹵化硅前體為堆棧投料，從而形成硅前體沉積物；在為所述堆棧投料之后提供N2等離子體轉化以將所述硅前體沉積物轉化成氮化硅沉積物；以及在提供所述N2等離子體轉化之后提供H2等離子體轉化以形成所述氮化硅沉積物的氫化表面，其中，所述堆棧的后續投料將硅前體沉積在所述氫化表面上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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