恭喜朗姆研究公司何治安獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利針對鍍覆操作改善襯底的可濕性獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112236847B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980037211.3，技術領域涉及：H01L21/306；該發明授權針對鍍覆操作改善襯底的可濕性是由何治安;尚蒂納特·古艾迪;許亨俊;黃璐丹;馮敬斌;道格拉斯·希爾;托馬斯·伯克;馬尼什·蘭詹;安德魯·詹姆斯·普福設計研發完成，并于2019-04-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本針對鍍覆操作改善襯底的可濕性在說明書摘要公布了：多種實施方案包含于電化學沉積工藝前濕化襯底的方法及設備。在一實施方案中，控制襯底可濕性的方法包含：將襯底置于預處理室中、控制預處理室的環境以濕化襯底表面；以及將襯底置于鍍槽中。還公開了其他方法及系統。
本發明授權針對鍍覆操作改善襯底的可濕性在權利要求書中公布了：1.一種減少氧化并增加襯底可濕性的方法，所述方法包括：將所述襯底置于無氧且去離子濕化的襯底環境中持續預定時間量，所述襯底環境包含氮；對所述襯底執行濕化操作，所述濕化操作包括：將所述襯底置于預處理室中，其包含使所述襯底經歷真空下的基于氫等離子體的工藝；在所述基于氫等離子體的工藝之后，將所述襯底置于真空至大氣轉換模塊中；以及供應水蒸氣至所述真空至大氣轉換模塊，以增加所述襯底的表面上的水蒸氣吸附；對所述襯底進行鍍覆操作；以及在對所述襯底進行所述鍍覆操作之后，在退火室中對所述襯底進行后退火。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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