恭喜卡爾蔡司SMT有限責任公司D.塞德爾獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜卡爾蔡司SMT有限責任公司申請的專利在檢查光刻過程的元件中評估統計分布的測量值的方法和裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112384855B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980045278.1，技術領域涉及：G03F1/84；該發明授權在檢查光刻過程的元件中評估統計分布的測量值的方法和裝置是由D.塞德爾;A.弗雷塔格;C.沃杰克;S.托普弗;C.施密特;C.胡澤曼設計研發完成，并于2019-07-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本在檢查光刻過程的元件中評估統計分布的測量值的方法和裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及一種用于在檢查光刻過程的元件810中評估統計分布的測量值100、300、350的方法900，其包括以下步驟：a在訓練的機器學習模型700中使用多個參數730，其中，在與測量值100、300、350的測量相關聯的時間段中參數730表征測量環境880的狀態；以及b執行訓練的機器學習模型700以便評估測量值100、300、350。
本發明授權在檢查光刻過程的元件中評估統計分布的測量值的方法和裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于在檢查光刻過程的元件810中評估統計分布的測量值100、300、350的方法900，包括以下步驟：a.在訓練的機器學習模型700中使用多個表征參數730，其中，在分配給所述測量值100、300、350的測量的時間段中所述表征參數730表征測量環境880的狀態；以及b.執行所述訓練的機器學習模型700以便評估所述測量值100、300、350；通過利用訓練數據集合訓練機器學習模型600來獲得訓練的機器學習模型700；訓練數據集合包括用于訓練的表征參數630和與用于訓練的表征參數630相關聯的品質標準640。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人卡爾蔡司SMT有限責任公司，其通訊地址為：德國上科亨；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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