恭喜應用材料公司黃奕樵獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利燈頭中的多分區燈控制和單獨燈控制獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN110797283B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910711874.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權燈頭中的多分區燈控制和單獨燈控制是由黃奕樵;埃羅爾·安東尼奧·C·桑切斯設計研發完成，并于2019-08-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本燈頭中的多分區燈控制和單獨燈控制在說明書摘要公布了：描述了一種用于處理半導體基板的方法和設備。公開了一種基板處理設備，包括：處理腔室；基板支撐件，所述基板支撐件設置在所述處理腔室內；多個燈，所述多個燈布置在燈頭中并靠近所述基板支撐件而定位；氣源，所述氣源用于在跨越所述基板支撐件的側向流動路徑中提供凈化氣體；以及控制器，所述控制器基于所述流動路徑的方向而差分地調整提供到所述多個燈中的單獨燈的功率。
本發明授權燈頭中的多分區燈控制和單獨燈控制在權利要求書中公布了：1.一種基板處理設備，包括：處理腔室；基板支撐件，所述基板支撐件設置在所述處理腔室內；多個燈，所述多個燈布置在燈頭中并靠近所述基板支撐件而定位；氣源，所述氣源用于在跨越所述基板支撐件的側向流動路徑中提供凈化氣體，所述流動路徑限定所述基板支撐件的前緣和后緣；以及控制器，所述控制器在基板被放置在所述基板支撐件之前基于所述流動路徑的方向而差分地調整提供到所述多個燈中的單獨燈的功率，使得對于所述多個燈中的在對應于所述基板支撐件的周邊的外部分區的燈，位于所述基板支撐件的所述前緣處的燈或者位于所述基板支撐件的所述前緣和所述后緣處的燈被提供大于所述外部分區中的其它燈的功率，從而將所述基板支撐件的所述前緣或所述前緣和后緣加熱到大于所述基板支撐件的所述周邊的其它部分的溫度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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