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龍圖騰網(wǎng)恭喜AMS國際有限公司申請的專利微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114902696B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080072969.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H04R7/02；該發(fā)明授權(quán)微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法是由皮特·赫布;米歇爾·穆勒;戈蘭·斯托揚諾維奇設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-09-01向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法在說明書摘要公布了：一種用于微機電設(shè)備的微結(jié)構(gòu)1，其包括具有頂表面3和背表面4的基板2和布置在所述基板2的頂表面3處的薄膜結(jié)構(gòu)5。薄膜結(jié)構(gòu)5包括與基板2間隔開的凸起部分8、薄膜結(jié)構(gòu)5的與基板2機械接觸的下部部分6、至少一個突出部分9以及薄膜結(jié)構(gòu)5的與至少一個突出部分9相距一定距離的至少一個另外的側(cè)壁7，該突出部分是中空的并且具有至少一個側(cè)壁10及底部11并且突出部分經(jīng)由該底部11將凸起部分8機械連接到基板2。其中另外的側(cè)壁7將下部部分6與薄膜結(jié)構(gòu)5的凸起部分8機械連接。

本發(fā)明授權(quán)微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于在微機電設(shè)備中使用的微結(jié)構(gòu)1，其包括具有頂表面3和背表面4的基板2和布置在所述基板2的頂表面3處的薄膜結(jié)構(gòu)5，所述薄膜結(jié)構(gòu)5包括：-與所述基板2間隔開的凸起部分8，-所述薄膜結(jié)構(gòu)的下部部分6，其與所述基板2機械接觸，-至少一個突出部分9，其是中空的并且具有底部11和至少一個側(cè)壁10，并且所述突出部分經(jīng)由所述底部11將凸起部分8機械連接到基板2，以及-所述薄膜結(jié)構(gòu)5的至少一個另外的側(cè)壁7，其與所述至少一個突出部分9相距一定距離，其中，所述另外的側(cè)壁7將薄膜結(jié)構(gòu)5的下部部分6與凸起部分8機械連接，其中-所述薄膜結(jié)構(gòu)5的凸起部分8是所述微結(jié)構(gòu)1的可移動部，-所述突出部分9形成中空輪廓，并包圍容積，所包圍的容積由所述底部11在豎直方向上和所述至少一個側(cè)壁10在所有橫向方向上界定，并且在所述突出部分9的頂側(cè)處，所包圍的容積連接到薄膜結(jié)構(gòu)5的環(huán)境，其中，所述突出部分9的頂側(cè)背離所述基板2。

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