恭喜鑫天虹(廈門)科技有限公司林俊成獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜鑫天虹(廈門)科技有限公司申請的專利基材傳送系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114597147B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011406736.0,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權基材傳送系統是由林俊成;張容華設計研發完成,并于2020-12-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本基材傳送系統在說明書摘要公布了:本發明是一種基材傳送系統,其具有本體、載盤裝載盒基座、載盤對準裝置、載盤機械手臂、基材裝載盒基座、基材對準裝置、基材機械手臂與白努力手臂。透過載盤機械手臂可將載盤傳送到載盤對準裝置,透過基材機械手臂可將基材傳送到基材對準裝置,而透過白努力手臂可將基材從基材對準裝置傳送到載盤對準裝置上的載盤。
本發明授權基材傳送系統在權利要求書中公布了:1.一種基材傳送系統,其特征在于,所述基材傳送系統包括:一本體,包括基材取放區與傳送區;至少一載盤裝載盒基座,連接所述傳送區,并用以固定載盤裝載盒;至少一載盤對準裝置,位于所述傳送區,并根據載盤上的第一定位區塊使所述載盤旋轉到第一特定角度;至少一載盤機械手臂,位于所述傳送區,并用以將所述載盤從所述載盤裝載盒傳送到所述載盤對準裝置,以及將所述載盤從所述載盤對準裝置傳送到所述載盤裝載盒;至少一基材裝載盒基座,位于所述基材取放區,并用以固定至少一基材裝載盒;至少一基材對準裝置,位于所述傳送區,并根據基材上的第二定位區塊使所述基材旋轉到預定角度;至少一基材機械手臂,位于所述傳送區,并用以將所述基材從所述基材裝載盒傳送到所述基材對準裝置,以及將所述基材從所述基材對準裝置傳送到所述基材裝載盒;及至少一白努力手臂,位于所述傳送區,并用以將所述基材從所述基材對準裝置傳送到所述載盤對準裝置上的所述載盤,以及將所述基材從所述載盤對準裝置上的所述載盤傳送到所述基材對準裝置;其中在所述白努力手臂將所述基材從所述基材對準裝置傳送到所述載盤對準裝置上的所述載盤后,所述載盤對準裝置使所述載盤旋轉到第二特定角度;其中所述白努力手臂將第一片基材及下一片基材從所述基材對準裝置傳送到所述載盤對準裝置上的所述載盤,所述第一片基材與所述下一片基材被放置在相對于所述基材傳送系統的同一個位置。
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