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龍圖騰網(wǎng)恭喜富士膠片株式會社申請的專利處理液、基板的處理方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115989314B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202180051654.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/304；該發(fā)明授權(quán)處理液、基板的處理方法是由高橋智威;杉島泰雄;水谷篤史設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-08-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本處理液、基板的處理方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明的課題在于提供一種半導(dǎo)體器件用處理液，所述處理液對于含金屬的層的耐腐蝕性及去除對象物的去除性優(yōu)異并且在后處理液中的溶解性優(yōu)異。并且，本發(fā)明的課題在于提供一種使用上述處理液的基板的處理方法。本發(fā)明的處理液為半導(dǎo)體器件用處理液，其含有水、去除劑及共聚物，共聚物具有第1重復(fù)單元及與第1重復(fù)單元不同的第2重復(fù)單元，所述第1重復(fù)單元具有選自伯氨基、仲氨基、叔氨基及季銨陽離子中的至少1種基團(tuán)。

本發(fā)明授權(quán)處理液、基板的處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種處理液，其為半導(dǎo)體器件用處理液，所述處理液含有：水；去除劑；及樹脂，所述樹脂具有第1重復(fù)單元及與所述第1重復(fù)單元不同的第2重復(fù)單元，所述第1重復(fù)單元具有選自伯氨基、仲氨基、叔氨基及季銨陽離子中的至少1種，所述第2重復(fù)單元含有由下述式（2a）表示的重復(fù)單元，所述第2重復(fù)單元的含量相對于所述樹脂中的所有重復(fù)單元為5摩爾%～95摩爾%，所述樹脂所具有的所述第1重復(fù)單元的摩爾數(shù)m與所述第2重復(fù)單元的摩爾數(shù)n的比率m:n為5:1～1:5，所述樹脂的重均分子量為5000～150000，所述樹脂的含量相對于所述處理液的總質(zhì)量為1質(zhì)量ppm～500質(zhì)量ppm，所述水的含量相對于所述處理液的總質(zhì)量為10質(zhì)量%～98質(zhì)量%，所述去除劑選自含氟化合物、羥胺化合物、堿性化合物、酸性化合物中的至少1種，所述去除劑的含量相對于所述處理液的總質(zhì)量為0.005質(zhì)量%～90質(zhì)量%， 式（2a）中，A21、A22及A23分別獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～4的直鏈狀或支鏈狀的烷基或-L2-X21，X21表示親水性基團(tuán)，所述親水性基團(tuán)為選自羥基、羧基、伯氨基、仲氨基、叔氨基、酰胺基、聚氧化烯基、磺基及磺酰基中的基團(tuán)，L2表示單鍵或二價連接基團(tuán)，當(dāng)X21及L2分別存在2個以上的情況下，相同或不同。

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