恭喜應用材料公司斯文·蘭霍夫獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利磁懸浮系統和測量至少一個電磁致動器與鐵磁元件之間的距離的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113678238B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980094622.6，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權磁懸浮系統和測量至少一個電磁致動器與鐵磁元件之間的距離的方法是由斯文·蘭霍夫;雷納·厄布;亨寧·奧斯特;馬丁·艾尼斯設計研發完成，并于2019-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本磁懸浮系統和測量至少一個電磁致動器與鐵磁元件之間的距離的方法在說明書摘要公布了：描述了一種用于磁懸浮鐵磁元件150的磁懸浮系統100。所述磁懸浮系統100包括至少一個電磁致動器178，所述至少一個電磁致動器與設置在電流供應系統135中的一個或多個變壓器140耦接，電流供應系統135用于向所述至少一個電磁致動器178供應電流。另外，描述了一種包括磁懸浮系統的基板處理系統和一種測量至少一個電磁致動器與鐵磁元件之間的距離的方法。
本發明授權磁懸浮系統和測量至少一個電磁致動器與鐵磁元件之間的距離的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于磁懸浮鐵磁元件150的磁懸浮系統100，所述磁懸浮系統包括至少一個電磁致動器178，所述至少一個電磁致動器178與設置在電流供應系統135中的一個或多個變壓器140電感耦合，所述電流供應系統135用于向所述至少一個電磁致動器178供應電流，其中所述一個或多個變壓器140被配置為提供用于確定在所述至少一個電磁致動器178與所述鐵磁元件150之間的距離的一個或多個輸出信號。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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