恭喜三星電子株式會社文勇升獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜三星電子株式會社申請的專利表膜和包括其的掩模版獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN110119064B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910066838.3，技術領域涉及：G03F1/48；該發明授權表膜和包括其的掩模版是由文勇升;金熙范;丁昶榮設計研發完成，并于2019-01-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本表膜和包括其的掩模版在說明書摘要公布了：本發明涉及表膜和包括其的掩模版。提供待用于光刻工藝的表膜。該表膜包括如下的膜，所述膜的至少一部分包括碳同素異形體。所述膜具有第一表面和與所述第一表面相反的第二表面，該膜包括包含摻雜劑的摻雜區域，該摻雜區域與所述第一表面相鄰，所述摻雜劑包括硼或氮的至少一種，以及所述摻雜區包括所述摻雜劑的至少一種的原子與碳原子之間的鍵。
本發明授權表膜和包括其的掩模版在權利要求書中公布了：1.表膜，包括：膜，所述膜的至少一部分包括碳同素異形體，其中所述膜具有第一表面和與所述第一表面相反的第二表面，所述膜包括包含摻雜劑的摻雜區域，所述摻雜區域與所述第一表面相鄰，所述摻雜劑包括硼或氮的至少一種，以及所述摻雜區域包括所述摻雜劑的至少一種的原子與碳原子之間的鍵。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人三星電子株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號