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龍圖騰網恭喜南京高華科技股份有限公司申請的專利一種MEMS電容式觸覺壓力傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113023662B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110178432.1，技術領域涉及：B81B7/02；該發明授權一種MEMS電容式觸覺壓力傳感器及其制備方法是由李維平;蘭之康設計研發完成，并于2021-02-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種MEMS電容式觸覺壓力傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明提出一種MEMS電容式觸覺壓力傳感器，包括：襯底；絕緣層，設置在所述襯底上；電極，設置在所述絕緣層上；電介質層，設置在所述絕緣層上并覆蓋所述電極；觸覺敏感體，設置在所述電介質層上；其中，所述觸覺敏感體構成所述MEMS電容式觸覺壓力傳感器的可動電極。本發明所提出的MEMS電容式觸覺壓力傳感器主要依賴電容電極間的面積變化來響應觸覺壓力的變化，相比于現有的通過電極間距變化來響應觸覺壓力變化的MEMS觸覺壓力傳感器，具有高線性度、高靈敏度的優點。且可采用MEMS加工工藝進行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制備。

本發明授權一種MEMS電容式觸覺壓力傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS電容式觸覺壓力傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：選擇襯底，在所述襯底上形成絕緣層；在所述絕緣層上形成電極；在所述襯底上形成電介質層，所述電介質層覆蓋所述電極；在所述電介質層上形成犧牲層，所述犧牲層通過熱蒸發鋁形成；刻蝕所述犧牲層，形成觸覺敏感體的形狀，所述觸覺敏感體的形狀為弧形，所述觸覺敏感體的寬度由傳感器所需的量程和分辨率確定；在所述犧牲層的上表面形成彈性導電復合材料；去除所述犧牲層，釋放所述觸覺敏感體；所述觸覺敏感體與所述電極正對設置；其中，所述觸覺敏感體構成所述MEMS電容式觸覺壓力傳感器的可動電極；在觸覺壓力作用下，所述觸覺敏感體發生形變，導致所述觸覺敏感體與所述電介質層的接觸面積增大，并造成敏感電容的可動電極與固定電極的有效相對面積增加，引起電容值發生變化。

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