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龍圖騰網恭喜上海高笙集成電路設備有限公司申請的專利一種半導體真空輸送工藝制程氣體管路中制冷專用冷腔體獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113108627B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110478947.3，技術領域涉及：F28D7/06；該發明授權一種半導體真空輸送工藝制程氣體管路中制冷專用冷腔體是由崔漢博;崔漢寬設計研發完成，并于2021-04-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體真空輸送工藝制程氣體管路中制冷專用冷腔體在說明書摘要公布了：本發明公開了一種半導體真空輸送工藝制程氣體管路中制冷專用冷腔體，包括：箱體和蓋板，蓋板采用螺栓安裝在箱體的頂部且連接處做密封處理，箱體的內部安裝有緩沖腔、泄壓腔、散熱片總成和內襯板，箱體的內底部還豎直安裝有四個固定柱，內襯板套接在固定柱上，散熱片總成安裝在內襯板上。本發明通過進氣口將需要冷卻的空氣排入內部并通過過濾筒進行一次過濾，過濾后穿過泄壓腔向下流動，在空氣與散熱片總成接觸時，由頂部長橫板對其進行阻擋并向四周分流，分流后的空氣通過導氣孔向下導向至內腔內部，與短橫板接觸后充分換熱，并再次由短橫板導向，使空氣穿過流通槽，并沿著縱板表面向下流動，提高換熱的效果，同時增加降溫的均勻度。

本發明授權一種半導體真空輸送工藝制程氣體管路中制冷專用冷腔體在權利要求書中公布了：1.一種半導體真空輸送工藝制程氣體管路中制冷專用冷腔體，包括：箱體和蓋板，所述蓋板采用螺栓安裝在箱體的頂部且連接處做密封處理，其特征在于：所述箱體的內部安裝有緩沖腔、泄壓腔、散熱片總成和內襯板，箱體的內底部還豎直安裝有四個固定柱，所述內襯板套接在固定柱上，所述散熱片總成安裝在內襯板上，所述蓋板的頂面中部設置有進氣口，所述箱體的底面中部設置有與進氣口對應的出氣口，所述緩沖腔置于進氣口的下方，泄壓腔置于緩沖腔的下方，且泄壓腔與緩沖腔之間安裝有過濾筒；所述箱體的側壁上安裝有兩個接頭，所述接頭的內端連接有導管，所述導管呈U形結構且端部貫穿散熱片總成，導管的彎曲端貼近箱體內壁遠離接頭的一側；所述散熱片總成包括若干個橫板和縱板，所述橫板包括長橫板和短橫板，所述縱板等距排列且兩端處采用長橫板連接并形成框架形結構，且相鄰縱板之間形成有縱向的內腔，所述短橫板水平置于內腔內部且將內腔分隔為若干個冷卻腔；所述短橫板的一端與內腔一側的縱板連接、另一端向內腔另一側的縱板貼近且與縱板之間形成流通槽；所述縱板和長橫板的表面還開設有若干個等距分布的導氣孔，所述導氣孔呈圓形結構，所述導管貫穿導氣孔。

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