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龍圖騰網(wǎng)恭喜無(wú)錫邑文微電子科技股份有限公司;江蘇邑文微電子科技有限公司申請(qǐng)的專利一種阻抗匹配方法和半導(dǎo)體設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119480604B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510052754.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)一種阻抗匹配方法和半導(dǎo)體設(shè)備是由吳元明;邢浩;楊永博;孫文彬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-14向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種阻抗匹配方法和半導(dǎo)體設(shè)備在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種阻抗匹配方法和半導(dǎo)體設(shè)備，阻抗匹配方法包括：確定電源的輸出阻抗的預(yù)設(shè)幅值和預(yù)設(shè)相位；采集匹配器的輸入端的幅值和相位；在幅值與預(yù)設(shè)幅值的差值小于第一差值，相位與預(yù)設(shè)相位的差值小于第二差值的情況下，確定在當(dāng)前時(shí)間段內(nèi)的電源的反射功率的平均值小于反射功率不良臨界值；確定在當(dāng)前時(shí)間段內(nèi)的匹配器的輸出端每一電壓值大于電壓閾值的第一風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)或者每一電流值大于電流閾值的第二風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)；在第一風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)或者第二風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)小于或等于預(yù)設(shè)風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)的情況下，所述幅值和所述相位使得所述電源的輸出阻抗與所述設(shè)備腔室的負(fù)載阻抗相匹配，本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定、高效的阻抗匹配，提高工藝結(jié)果的穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權(quán)一種阻抗匹配方法和半導(dǎo)體設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種阻抗匹配方法，其特征在于，阻抗匹配電路包括：電源、匹配器和設(shè)備腔室；所述設(shè)備腔室包括線圈和負(fù)載阻抗，所述電源與所述匹配器的輸入端連接，所述匹配器的輸出端與所述設(shè)備腔室的線圈連接；所述阻抗匹配方法包括：確定所述匹配器的輸入端的預(yù)設(shè)幅值和預(yù)設(shè)相位；所述預(yù)設(shè)幅值和所述預(yù)設(shè)相位使得所述電源的輸出阻抗與所述設(shè)備腔室的負(fù)載阻抗相匹配；采集所述匹配器的輸入端的幅值和相位；在所述幅值與所述預(yù)設(shè)幅值的差值小于第一差值，所述相位與所述預(yù)設(shè)相位的差值小于第二差值的情況下，確定在當(dāng)前時(shí)間段內(nèi)的所述電源的反射功率的平均值；其中，所述第一差值為所述幅值與所述預(yù)設(shè)幅值的誤差范圍的絕對(duì)值，第二差值為所述相位與所述預(yù)設(shè)相位的誤差范圍的絕對(duì)值；確定所述電源的反射功率的平均值小于反射功率不良臨界值；獲取在當(dāng)前時(shí)間段內(nèi)的所述匹配器的輸出端的所有電壓值或所有電流值；確定每一電壓值大于電壓閾值的第一風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)，或者每一電流值大于電流閾值的第二風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)；在所述第一風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)或者所述第二風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)小于或等于預(yù)設(shè)風(fēng)險(xiǎn)次數(shù)的情況下，所述幅值和所述相位使得所述電源的輸出阻抗與所述設(shè)備腔室的負(fù)載阻抗相匹配。

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