恭喜東京毅力科創株式會社小泉克之獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利載置臺和基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112349646B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010760245.X，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權載置臺和基板處理裝置是由小泉克之;高橋雅典;江崎匠大設計研發完成，并于2020-07-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本載置臺和基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供載置臺和基板處理裝置。對基板的最外周的溫度進行控制。提供一種載置臺，該載置臺具有位于基板的外側的第1面和載置基板的第2面，其中，該載置臺與所述第1面對應地形成第1流路。
本發明授權載置臺和基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種載置臺，該載置臺具有位于基板的外側的第1面和載置基板的第2面，其中，與所述第1面對應地形成第1流路，在所述第1面設置環構件，該環構件位于所述基板的周圍，所述第1流路的上表面的延長線與連結所述第1流路的上表面中靠近所述第2面的一側的端部和所述第1面的內端部之間的線所成的角度為60°以下，將所述第1面與所述第1流路之間的垂直距離設為h，將自所述第1面與所述第2面之間的邊界面到所述第1流路的水平距離設為d，此時，d＞h，所述載置臺具有第1加熱器，該第1加熱器沿垂直方向設置在所述第1面與所述第1流路之間，并且被配置為控制所述環構件的溫度，在從上方觀察時，所述第1加熱器沿水平方向設置在所述第2面與所述第1流路之間，并且所述第1加熱器和所述第1流路彼此不重疊。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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