恭喜東京毅力科創株式會社金川耕三獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利基板處理系統和基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112652552B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011060753.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板處理系統和基板處理方法是由金川耕三;鶴崎廣太郎;隱塚惠二;甲斐義廣設計研發完成，并于2020-09-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理系統和基板處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及基板處理系統和基板處理方法。提供能夠使基板處理系統小型化的技術。基板處理系統具有：送入送出部，其用于送入送出收納多片所述基板的盒；批量處理部，其成批地處理包含多片基板的批次；單片處理部，其逐片處理所述批次的所述基板；以及接口部，其在所述批量處理部和所述單片處理部之間交接所述基板，所述送入送出部、所述單片處理部、所述接口部、所述批量處理部以該順序排列，所述接口部包括：批次形成部，其形成所述批次；以及輸送部，其將所述基板從所述單片處理部向所述批次形成部輸送且將所述基板從所述批量處理部向所述單片處理部輸送。
本發明授權基板處理系統和基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理系統，其中，該基板處理系統具有：送入送出部，其用于送入送出收納了多片基板的盒；批量處理部，其成批地處理包含多片所述基板的批次；單片處理部，其逐片處理所述批次的所述基板；以及接口部，其在所述批量處理部和所述單片處理部之間交接所述基板，所述送入送出部、所述單片處理部、所述接口部、所述批量處理部以所述送入送出部、所述單片處理部、所述接口部、所述批量處理部的順序排列，所述接口部包括：批次形成部，其用于形成所述批次；以及輸送部，其將所述基板從所述單片處理部向所述批次形成部輸送且將所述基板從所述批量處理部向所述單片處理部輸送，其中，所述批量處理部包括處理槽，其貯存用于浸漬所述批次的處理液或霧狀的處理液，其中，所述輸送部將在所述處理液中被保持的所述基板從所述批量處理部的所述處理槽向所述單片處理部輸送。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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