恭喜崇碩科技公司D·R·特洛伊獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜崇碩科技公司申請的專利用于襯底加工系統的平坦化膜及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111432983B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201880078406.8，技術領域涉及：B24B37/34；該發明授權用于襯底加工系統的平坦化膜及方法是由D·R·特洛伊設計研發完成，并于2018-10-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于襯底加工系統的平坦化膜及方法在說明書摘要公布了：公開了一種用于平坦化膜的方法和系統。一方面，該方法包括提供彈性膜并使用調節工具使膜的表面平坦化。平坦化的膜可用于晶圓的化學機械平坦化。該方法還包括用平坦化的膜修整晶圓的表面。
本發明授權用于襯底加工系統的平坦化膜及方法在權利要求書中公布了：1.一種加工用于襯底載體的彈性膜的方法，所述方法包括：提供所述彈性膜；拉緊所述彈性膜；和使所述彈性膜的表面平坦化以形成平坦化的彈性膜，其中所述平坦化導致表面粗糙度在預定范圍內的所述平坦化的彈性膜，其增加所述彈性膜和晶圓之間的密封，其中在拉緊所述彈性膜時，進行使所述彈性膜的表面平坦化。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人崇碩科技公司，其通訊地址為：美國亞利桑那州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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