恭喜朗姆研究公司索斯藤·利爾獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利預測在熱蝕刻與原子層蝕刻中的蝕刻特性獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112088423B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980030046.9，技術領域涉及：H01L21/306；該發明授權預測在熱蝕刻與原子層蝕刻中的蝕刻特性是由索斯藤·利爾;安德烈亞斯·費希爾;伊凡·L·貝瑞三世;尼莉莎·蘇·德雷格;理查德·A·戈奇奧設計研發完成，并于2019-04-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本預測在熱蝕刻與原子層蝕刻中的蝕刻特性在說明書摘要公布了：使用機器學習模型預測熱蝕刻反應中的蝕刻。使用量子力學模擬來識別給定熱蝕刻反應的一或多個反應路徑中的蝕刻工藝的化學特性和相關能量。指示蝕刻特性的標簽可與給定熱蝕刻反應的化學特性和相關能量相關聯。機器學習模型可使用化學特性和相關能量作為自變量以及使用標簽作為不同類型的許多不同蝕刻反應的因變量來進行訓練。當在機器學習模型中提供新的熱蝕刻反應的化學特性和相關能量作為輸入時，機器學習模型可準確地預測新的熱蝕刻反應的蝕刻特性作為輸出。
本發明授權預測在熱蝕刻與原子層蝕刻中的蝕刻特性在權利要求書中公布了：1.一種用于預測表面層與蝕刻前體之間的反應中的蝕刻特性的方法，所述方法包括：a使用量子力學模型識別所述表面層和所述蝕刻前體之間的模擬反應中的一或多個反應路徑的化學特性和相關能量；b將所述模擬反應中的所述化學特性和相關能量作為輸入提供給機器學習模型；以及c使用所述機器學習模型確定所述表面層和所述蝕刻前體之間的所述模擬反應的蝕刻特性。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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